中国生产硅烷气的主要企业及产能情况如下：
- 硅烷科技：是国内硅烷气细分行业的龙头企业之一，目前硅烷气总产能为6100吨，产品纯度稳定在6N级以上，最高可达7N级及以上。
- 湖北晟皓：其年产1.5万吨硅烷气项目于2025年1月10日开工，是全国单线最大的电子级硅烷项目。
- 北方特气：北方特气（浙江）科技有限公司硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期建成后可形成年产2万吨电子级硅烷特气的生产规模。另外，其在江苏盐城滨海县的项目计划建设年产4万吨硅烷电子特气。
- 嘉洋科技：位于准格尔经济开发区大路产业园，一期建设年产8000吨电子级硅烷，二期建设年产8000吨电子级硅烷，项目全部建成后总产能达16000吨。
- 安徽皓翎：年产12600吨硅烷气项目，位于滁州全椒化工园区。
- 陕西天瑞硅材料：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司新建的5000吨/年硅烷气充装项目获备案，项目分两个阶段建设，第一阶段建设2000吨产能，第二阶段建设3000吨产能。
- 浙江亚格新安电子：其年产2000吨电子级甲硅烷及硅基特气项目于2024年11月4日开工奠基，项目建成后将形成电子级甲硅烷2000吨/年的生产能力。