一、核心技术路线
1. HPHT(高温高压):传统路线,成本低、尺寸受限;多用于工业金刚石、小尺寸散热片,代表企业力量钻石、中南钻石
2. MPCVD(微波等离子CVD):电子级主流,可做大尺寸、高纯度单晶/多晶热沉,热导率达1800–2200 W/m·K(接近理论2300);国机精工、黄河旋风、中兵红箭主攻
3. 复合方案(金刚石-铜/铝):兼顾高热导与易加工,热导率600–800 W/m·K,解决纯金刚石难加工、CTE不匹配,用于功率器件、AI芯片
二、国内核心企业梯队
第一梯队(量产+头部客户验证)
- 国机精工(002046)(郑州三磨所):MPCVD全产业链(设备自研+材料+加工),4×4cm衬底批量供华为5.5G/昇腾;哈密产线扩产,国内市占30%+
- 中兵红箭(000519)(中南钻石):MPCVD+HPHT双工艺,单炉面积200+cm²,热导率2200+,军工+通信双落地
- 黄河旋风