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能源海之歌
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光刻机产业链核心公司基本面更新:
茂莱光学: 国内高精度光学器件龙头,产品覆盖光刻机匀光系统、物镜补偿环等核心部件,技术精度达纳米级,部分产品通过 ASML 认证,与光刻机公司都有合作。光刻机中光学系统(光源之下的扩束、整形、明化、曝光系统、量检测对准对齐系统)的价值量占比80%,制程越高端(如从I线到DUV),曝光物镜的价值占比越高。公司做的是曝光物镜的镜片组,占曝光物镜价值量的一半。在光刻机成套供应曝光镜片组领域,公司是国内唯一商业化量产的公司。DUV光学透镜已进入上海微电子供应链,掌握纳米级非球面镜片技术,其 DUV 物镜系统单机价值量达 5000 万元,同时中标ASML 合作项目。上海微目前i线量产,公司独供,供上海微的DUV镜片目前正在追求全套量产。公司向上海微的i线交付一直在持续,去年交付40套,今年上半年累计交付100来套。EUV项目也有规划。公司转债项目5.625亿全部投向

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