$中船特气(SH688146)$
2月4日从中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）获悉，近日，由电科装备下属北京中电科公司自主研制的国内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄设备、衬底减薄设备成功发货，顺利交付行业龙头企业，标志着国产设备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破，为大尺寸衬底产能升级提供重要装备保障
SiC长晶/外延/刻蚀需大量电子特气（如三氟化氮、六氟化钨、碳源前驱体），12英寸产线扩产直接拉动特气需求，公司作为国产特气龙头，将显著受益于SiC产业链扩产带来的订单增长。