AI 算力 + 晶圆厂扩产双驱动：屹唐股份如何把握千亿半导体设备市场机遇？

屹唐股份（股票代码：688729.SH）是全球半导体设备领域的重要供应商，专注于集成电路制造过程中晶圆加工设备的研发、生产和销售。公司核心产品覆盖干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备三大类，技术水平达到国际领先或先进水平，客户全面覆盖全球前十大芯片制造商及国内头部企业，包括台积电、三星、中芯国际、长江存储等。

一、核心产品与技术实力

干法去胶设备全球市占率第二（2023 年数据），主要应用于 5nm 逻辑芯片、10 纳米系列 DRAM 芯片及 128 层 3D 闪存芯片的量产工艺。其 Hydrilis® 系列设备在基底保护、颗粒污染控制等指标上表现优异，单位时间生产效率和综合持有成本优于国际同行。2020 年，长江存储采购的 27 台去胶设备中 24 台来自屹唐股份，华虹半导体采购的 11 台中有 10 台为其产品。

快速热处理设备全球市占率第二（13.05%），可实现晶圆表面毫秒级退火，关键参数如温度均匀性、热应力控制能力达到国际领先。产品已进入台积电、三星的 5nm 生产线，并在中芯国际、华虹集团的先进制程中大规模应用。

干法刻蚀设备全球市占率前十（0.21%），聚焦 65 纳米到 5 纳米逻辑芯片及 128 层 3D 闪存的刻蚀工艺。其 Novyka® 系列设备在刻蚀选择比、关键尺寸均匀性等指标上达到国内领先、国际先进水平，2025 年下半年预计在三星、SK 海力士供应链实现销售放量。

二、市场地位与客户资源

全球化布局：公司以北京为总部，在美国、德国设立研发制造基地，全球累计装机量超 4800 台，产品覆盖全球 90% 以上的主流晶圆厂。

国产替代先锋：2024 年境内专用设备收入占比达 72.74%，较 2022 年的 48.57% 显著提升。通过国产化替代，公司已完成 2174 种零部件的国产验证，关键部件如射频电源、真空泵的国产替代率超 90%。

头部客户绑定：深度参与全球半导体产业链，服务客户包括台积电、三星、SK 海力士等国际巨头，以及长江存储、长鑫存储、中芯国际等国内领军企业。2025 年上半年，公司来自中国大陆的收入占比进一步提升至 66.7%。

三、财务表现与行业前景

业绩增长强劲：2025 年上半年营收 24.82 亿元（同比 + 18.77%），净利润 3.48 亿元（同比 + 40.23%），毛利率提升至 37.39%。研发投入持续加码，2024 年达 7.17 亿元，占营收 15.5%，累计获得发明专利 445 项。

行业机遇：受益于国内晶圆厂扩产（中芯国际、华虹新增产能超 60 万片 / 月）、AI 算力需求激增及供应链国产化趋势，公司预计 2025 年全球半导体设备市场规模将达 1,007.5 亿美元，中国占比 24.55%（约 300 亿美元）。

四、战略布局与未来发展

产能扩张：北京制造基地产能提升 40%，2025 年下半年将新增 200 台设备产能，重点满足国内客户需求。英伟达

技术迭代：重点研发 5nm 以下逻辑芯片及 232 层以上 3D 闪存设备，计划 2026 年前推出新一代高选择比刻蚀设备和超高温快速热处理平台。

全球化研发：中美德三地协同研发体系实现 24 小时不间断技术迭代，在全球主要客户驻地配备工艺工程师，提升响应速度。$华工科技(SZ000988)$ $先导智能(SZ300450)$ $阿里巴巴(BABA)$