根据搜索结果，截至2025年8月，国内主要三氟化氮上市公司及产能情况如下（按产能规模排序）：

1. 中船特气（688146）

现有产能：18,500吨/年
地位：全球最大三氟化氮生产商，产能超过韩国SK Specialty（13,500吨）。
扩产计划：呼和浩特高纯电子气体项目（一期）新增7,500吨产能已投产，总产能跃居全球首位。
客户覆盖：台积电、美光、海力士、中芯国际等国内外头部半导体企业。

2. 南大光电（300346）

现有产能：8,300吨/年（截至2024年底）。
扩产计划：乌兰察布子公司首期7,200吨项目已释放4,500吨产能，规划总产能达19,600吨。
技术优势：通过成本控制与规模效应应对价格竞争。

3. 昊华科技（600378）

现有产能：5,000吨/年（全国前三）。
扩产计划：自贡沿滩基地新建6,000吨/年装置，2025年投产后总产能将达11,000吨。
市场地位：国内电子特气行业核心供应商。

4. 广钢气体（688548）

规划产能：3,000吨/年项目，计划2026年达产。
布局方向：依托内蒙古资源优势降低生产成本。

5. 和远气体（002971）

规划产能：宜昌基地500吨/年项目已于2024年6月试生产，2025年Q3启动验证导入。
区域布局：聚焦华中地区半导体材料需求。

6·凯美特气（002549）

1. 三氟化氮产能与技术突破
现有产能：凯美特气通过子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司布局三氟化氮业务，目前产能为6.8万Nm³/年（约合300吨/年，按标准状况下气体密度换算），主要面向半导体清洗、刻蚀工艺需求。
技术认证：2024年，公司光刻气产品（含三氟化氮混合气）通过ASML子公司Cymer认证，成为国内唯二获得国际光刻机巨头认证的企业，产品纯度达6N级（99.9999%），覆盖ArF/KrF等高端光刻工艺。
工艺优势：采用自主开发的低能耗提纯技术，单吨电费成本较传统工艺降低25%，并实现副产物氟化氢回收率超90%，综合成本较进口产品低15%-20%。
其他上市公司及规划产能

华特气体（688268）：规划产能1,000吨，但尚未明确投产时间。
福建德尔：拟IPO募资投建10,000吨项目，但受资金限制进展待观察。

非上市企业动态

绿菱气体（新三板挂牌）：乌兰察布项目规划10,000吨，一期4,500吨已动工。
裕隆气体（新三板挂牌）：兰州项目一期3,000吨计划2025年11月投产。

行业趋势与风险

产能过剩：全球现有产能约5.73万吨，规划新增6.51万吨，若全部落地将翻倍至11万吨，价格竞争加剧。
国际竞争：日本关东电化工厂爆炸及韩国三井化学退出，或为国内企业带来短期供应缺口机遇。
出海策略：头部企业加速拓展海外市场，中船特气全球覆盖率已达65%。
数据来源：综合企业公告、行业研报及投资者互动平台披露信息。建议关注企业扩产进度及市场需求变化对盈利的影响。
注:腾讯元宝分析整理，未经核实验证，仅供参考！！！