半导体设备（6）

半导体设备升级依赖精密零部件技术突破，作为设备基石支撑行业发展，零部件是制造环节中“卡脖子”的高难度环节。

零部件直接影响设备交付与产值，年产值达百亿美元，产业辐射力强。

当前全球AI浪潮算力芯片紧缺，晶圆厂先进制程产能加速扩产，在高资本开支支撑下，有望推动半导体设备及零部件以及相关材料国产替代进一步提速。

01半导体设备零部件行业概览

半导体零部件是指用于半导体设备制造中的各种精密机械、电子、光学等元件和部件，具有工艺精密和批量小等特点，涵盖多个细分的领域。

行业通常按照结构构成或功能用途对半导体设备零部件进行分类。

按功能分为六类：机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类。

其中占比较大的包括：机械类零部件约占半导体设备零部件的20%-40%、电气零部件约占10%-20%、机电一体类约占到10%-25%、气体/液体/真空系统类占10%-30%。

资料来源：行行查

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