华东重机，福建厦门gpu机器人光刻机
光刻机真空规已出货，耗材单价200w
华东重机，福建gpu军工光刻机~收厦门锐信图芯gpu45%股权，聚众科技传感器光刻机零部件开始出货，传感器对标赛微电子