英诺激光—— DUV 、 EUV 光刻机光源唯一供应商

英诺激光是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级激光器核心技术和生产能力的厂商之一，也是全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的生产商之一。产品矩阵覆盖从红外到深紫外的不同波段，形成了完整的产品布局。

公司推出了面向先进封装的超精密激光钻孔设备，适用于高性能计算芯片如 CPU、GPU、FPGA 和 ASIC 等产品的封装环节。

英诺激光深度参与了国产光刻机的研发制造:

DUV 光刻机光源供应：

英诺激光是全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的企业之一，其深紫外激光器已批量供货上海微电子，是上海微电子 28nm 光刻机光源系统的唯一国内合作方。英诺激光的深紫外激光器具有高光强、高均匀性和高稳定性等特点，能够满足 28nm 光刻工艺的要求。

EUV 光刻机光源研发：

英诺激光的大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。公司牵头承担了深圳市资助 3000 万元的高功率薄片超快激光器项目，联合中科院大连化物所等机构加速产业化，该项目瞄准国产 EUV 光刻机预脉冲需求，计划 2025 年实现功率从百瓦级向数千瓦级跃升。薄片技术可解决传统激光散热瓶颈，与 ASML 供应商德国通快技术路径高度契合，若成功量产，英诺激光有望垄断国产预脉冲激光器百亿市场。