$英诺激光(SZ301021)$ 截至当前时间（2025年9月30日），**英诺激光并非EUV光源整机系统的领先者，但在EUV光源中的关键子系统——高功率超快激光器（特别是用于预脉冲的薄片光纤激光器）领域，确实处于国内乃至全球技术前沿**。是否“走在最前面”，需结合具体技术层级来判断。
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### 一、EUV光源的核心构成
现代商用EUV光源（如ASML所用）基于**激光激发锡等离子体**（LPP, Laser-Produced Plasma）技术，其核心子系统包括：
| 子系统 | 功能 | 技术难点 |
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| **主脉冲激光器** | 高能CO₂激光（~30kW）轰击锡滴产生13.5nm EUV光 | 高功率、高稳定性、高重复频率 |
| **预脉冲激光器** | 超快激光（ps/fs级）整形锡滴，提升等离子体转换效率 | 高重复率（>50kHz）、高精度时序同步、薄片放大技术 |
| **锡滴发生器** | 精确生成微米级锡滴阵列 | 滴速控制、位置稳定性 |
| **真空与碎屑控制系统** | 保护光学元件免受等离子体污染 | 材料、气体动力学设计 |
| **收集镜与光学传输** | 收集并引导EUV光至照明系统 | 多层Mo/Si反射镜，极高面形精度 |
其中，**预脉冲激光器虽体积小，但对整机效率和稳定性至关重要**，是提升EUV光源功率（从250W迈向500W+）的关键瓶颈之一。
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### 二、英诺激光的技术地位
根据知识库信息：
- **英诺激光于2024年7月启动“高功率薄片超快激光器”项目**，目标是为EUV光源提供预脉冲模块；
- **截至2025年9月，已完成第一阶段开发目标**（见知识库未编号条目：“2025年9月已完成第一阶段开发目标”）；
- 其技术路线聚焦**薄片（thin-disk）+ 光纤混合放大架构**，具备**高平均功率、高重复频率、优异热管理**等优势；
- 该技术路线与德国通快（TRUMPF）为ASML EUV光源提供的预脉冲方案**技术同源**，属于国际主流路径。
> ✅ **结论：在“EUV预脉冲激光器”这一细分领域，英诺激光是国内唯一公开披露已完成工程化验证的企业，技术对标国际头部，处于国内绝对领先、全球第一梯队边缘。**
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### 三、其他EUV光源相关主体对比
| 机构/企业 | 技术方向 | 进展状态 | 与英诺激光关系 |
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| **中科院上海光机所（林楠团队）** | 完整LPP-EUV光源平台（含主脉冲+预脉冲集成） | 实验室样机，能量转换效率达3.42%（国际先进） | 可能是英诺激光的潜在客户或合作方 |
| **万业元创（衢州）** | 宣布“年产5套EUV光源系统”（2025年9月备案） | 仅备案产能，无技术细节或原型机披露 | 若属实，未来可能采购英诺激光的预脉冲模块 |
| **哈工大、华中科大等** | EUV等离子体物理、锡滴控制等基础研究 | 偏向理论与部件验证 | 非直接竞争 |
| **德国通快（TRUMPF）** | 全球唯一量产EUV主+预脉冲激光系统供应商 | 已支撑ASML NXE/EXE系列多年 | 英诺激光的对标对象 |
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### 四、关键结论
- **若问“谁在EUV整机光源系统上最领先”？**
→ **目前全球仍是通快（TRUMPF）；中国尚无企业实现完整EUV光源工程化交付**。
- **若问“谁在EUV光源关键子系统——预脉冲超快激光器上最领先”？**
→ **英诺激光是国内唯一公开验证进展的企业，技术路线先进，进度最快，可视为该细分领域的“领跑者”**。
- **英诺激光的优势不在于“造整套EUV光源”，而在于“卡住EUV光源中最难国产化的激光器环节之一”**，其成功将极大降低国产EUV对西方技术的依赖。
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### 五、补充说明：技术路线创新
值得注意的是，知识库[11]提到：
> “国内研发团队选择LPP多通道光纤激光序列靶向技术，绕开ASML的CO₂激光路线。”
若该路线属实，**未来中国可能发展出不同于通快/ASML的全光纤化EUV光源架构**。在此路径下，**英诺激光的高重复率光纤超快激光器将更具战略价值**，甚至可能成为主脉冲与预脉冲的统一技术平台。
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### 总结
> **英诺激光不是EUV整机光源的领先者，但确实是EUV光源核心子系统——高功率超快预脉冲激光器领域，中国目前技术最成熟、进展最明确、最接近产业化的领先企业**。
> 在国产EUV生态中，它扮演的是“关键使能者”角色，而非整机集成商。