碳化硅在mems微镜上的应用

此文是豆包写的

碳化硅（SiC）凭借超高硬度、优异的耐高温 / 耐腐蚀性、稳定的力学性能及良好的半导体特性，为 MEMS（微机电系统）微镜的性能突破提供了关键材料解决方案。MEMS 微镜作为光机电一体化核心器件，广泛应用于激光雷达（LiDAR）、投影仪、光谱仪、AR/VR 等领域，其对 “结构稳定性、响应速度、环境适应性” 的严苛要求，恰好与碳化硅的材料优势高度契合。以下从应用场景、核心优势及技术实现路径展开分析：

1、核心应用场景：瞄准高要求 MEMS 微镜领域

碳化硅并非替代传统硅基 MEMS 微镜的 “通用方案”，而是聚焦于硅基材料难以满足的极端环境、高精度、长寿命场景，核心应用集中在以下三类：

（1）车载激光雷达（LiDAR）MEMS 微镜

车载 LiDAR 是碳化硅 MEMS 微镜最核心的应用领域。车载环境存在高温（发动机舱附近温度可达 125℃以上）、振动冲击（行驶中颠簸）、湿度变化（