$泰晶科技(SH603738)$ 泰晶科技是国内唯一、全球第四家具备光刻MEMS工艺的厂商，也是全球少数几家掌握晶体微纳米MEMS光刻技术的企业，在国内率先实现了MEMS光刻工艺产业化应用，打破了国外在该领域的技术垄断。$张江高科(SH600895)$ $江丰电子(SZ300666)$