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icefighter
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回复@icefighter: 要在超精密定位领域全面替代 PI(德国) 和 Aerotech(美国),本质上是在向两个物理极限发起挑战:一个是**“材料形变的极致受控(压电)”,另一个是“摩擦力的极致消除(空气轴承)”**。国内虽然起步较晚,但在半导体、光伏及国防需求的倒逼下,已经涌现出一批具备实力的“硬科技”玩家。
一、 谁在替代 PI:
压电陶瓷与纳米位移压电陶瓷(Piezoelectric)的核心壁垒在于压电材料的配方以及压电驱动算法。
芯明天 (CoreMorrow, 哈尔滨):地位: 国内压电定位领域的标杆,技术渊源于哈工大。产品: 提供压电陶瓷叠堆、纳米级压电扫描台、六轴并联平台。其产品在同步辐射、光通信耦合(硅光测试)中已有广泛应用。
竞争力: 它是目前国内产品线最接近 PI 的公司,能提供从底层陶瓷片到上位机算法的完整方案。
纳米达 (Nanopositioner, 宁波):
地位: 专注于压电纳米定位系统。
优势: 在超高分辨率(皮米级 $pm$)的扫描探针显微镜定位上有较深造诣,正尝试切入硅光耦合设备供应链。
汉威机电:
地位: 核心优势在于高精度伺服驱动,但在微位移压电领域也有布局,擅长将压电技术集成到大型工业模组中。
二、 谁在替代 Aerotech:
空气轴承与直线驱动空气轴承(Air Bearing)的难点在于气浮面的精密加工和运动时的气压稳定性控制。
大族机电 (Han's Motor):
地位: 大族激光旗下核心部件商。
产品: 研发了高性能的空气轴承转台和直线平台,直接对标 Aerotech。其空气轴承主轴已成功应用于高精度 PCB 钻孔机和半导体晶圆检测。
优势: 依托大族的工业体系,拥有极强的规模化量产和供应链整合能力。
哈工大机器人集团 (HRG) 及相关孵化企业:
地位: 依托哈工大超精密控制国家重点实验室。
优势: 在超精密空气轴承主轴、超高精度掩模台(光刻机核心)等领域拥有国内顶尖的实验室成果,正在加速产业化。
智赢装备 (Zhiying):
地位: 国内直线电机直驱方案的领先者。
现状: 虽然以机械接触式导轨为主,但在高端定制化需求中,已经开始提供空气轴承平台,用于替代 Aerotech 在激光加工和检测领域的设备。
博智 (BoZhi):
地位: 专注于超精密空气轴承运动平台。其产品的重复定位精度可达纳米级,主要针对半导体前道工序。//@icefighter:回复@icefighter:Aerotech(艾罗德克) 绝对算得上是精密运动控制领域的**“顶级特种兵”**。
如果说神津(Kohzu)是靠极强的“重载机械结构”出名,PI 是靠“压电技术”称王,那么 Aerotech 的核心杀手锏就是**“超高性能的整机控制系统与直驱技术(Direct Drive)”**。
1. “精密之王”梯队:
Aerotech 的位置
Aerotech 和前面提到的神津、PI 属于同一层级,但它更强调**“动态性能”**。
Aerotech (美国):
擅长点:
直驱电机、空气轴承(Air Bearing)、以及最出名的 Automation1 运动控制平台。
区别:
它的设备不仅动得准,而且动得非常快。在激光精密加工、半导体光刻掩模台、柔性电子制造中,它能提供极高的加速度和几乎为零的整定时间(Settling Time)。
硅光应用:
在硅光芯片的晶圆级测试中,Aerotech 的空气轴承平台常被用于确保探针在高速切换时的纳米级稳定性。
Newport (MKS 旗下, 美国):
地位:
光学实验台的“行业标准”。它的产品线极广,从手动旋转台到复杂的六轴并联机器人。相比 Aerotech,Newport 更像是光学工程师的“超级超市”。
Thorlabs (美国):
地位:
科研实验室的“基建狂魔”。其定位台以性价比和模块化著称,适合科研原型开发,但在超大规模工业量产线的极端指标上,通常略逊于 PI 或 Aerotech。

@icefighter :在超精密定位领域,**日本神津(Kohzu)和德国PI(Physik Instrumente)**虽然都是顶尖玩家,但它们的“技术灵魂”和业务逻辑完全不同。如果把神津比作**“极致的机械工匠”,那么 PI 就是“全能的光电极客”**。以下是它们的详细对比:
1. 技术路线:机械刚性 vs. 压电响应
这是两者最根...