固高科技：硅光耦合设备。易天股份、克来机电已经涨停

固高科技的高性能运动控制系统为光模块生产制造提供支持：

纳米光耦合设备应用：GSFD 系列低压伺服驱动器应用于纳米光耦合设备，基于 gLink-II 总线技术，电流环采样分辨率 16 bit，运算周期 31.25us，支持高精度光耦合定位，精度可达纳米级

固晶机运动控制：为光模块芯片贴装的 COB 固晶工艺设备提供多轴联动控制方案，实现亚微米级定位精度，提升光模块封装良率

半导体光器件制造：在光芯片制造、光器件封装等环节，提供高精度运动控制解决方案，适配光刻、沉积、检测等设备需求

$固高科技(SZ301510)$ $易天股份(SZ300812)$ $克来机电(SH603960)$