新凯莱光刻机产业链中，光学系统（福晶科技、茂莱光学）与曝光系统（奥普光电） 的价值量最高，合计占设备成本55%以上。其技术突破直接决定国产光刻机的量产进度与性能上限。其次是精密零部件（新莱应材、江丰电子），虽单机价值占比低，但国产化替代空间广阔，订单弹性显著。$福晶科技(SZ002222)$ $奥普光电(SZ002338)$ $茂莱光学(NQ833673)$