一层薄薄的光刻胶,曾是中国芯片制造的最大瓶颈,如今正成为国产替代的核心战场。
日本光刻胶出口限制的阴影下,中国半导体产业曾一度陷入“窒息”的忧虑。光刻胶作为芯片制造的“血液”,其质量直接决定芯片性能与良率,而日本企业垄断了全球高端光刻胶市场93%的份额。
在这一背景下,华懋科技通过参股徐州博康,构建了“单体→树脂→成品胶”的完整产业链闭环,成为国内高端光刻胶国产替代的重要力量。
01 全产业链布局:打破日美垄断的关键
光刻胶行业的壁垒不仅在于配方工艺,更在于对上游树脂、光酸、单体工艺的把控和理解。华懋科技参股的徐州博康,是国内极少数的“全能型”选手,实现了从单体、树脂到光刻胶成品的全链条自主研发与生产。
徐州博康目前已成功研发近70款光刻胶单体、50多款光刻胶树脂和超过150款光敏剂。其中,有13款为ArF光刻胶单体,7款为ArF树脂,12款光敏剂专为ArF光刻胶开发。
在产品质量方面,徐州博康的ArF单体材料纯度大于99.5%,金属杂质低于10ppb,已达到国际标准。能将光刻胶单体的金属杂质含量控制在1ppb以下,纯度关键指标提升10倍,达到国际高端光刻胶门槛。
华懋科技还与徐州博康合资成立了东阳华芯电子材料有限公司,规划建设“年产8000吨光刻材料”项目。这一布局为公司构建了完整的光刻胶产业链能力,打破日本企业对上游核心材料的垄断。
02 技术突破:从追赶到并跑
徐州博康已成功开发出26款ArF光刻胶相关产品,其中ArF-immersion15款,ArF-dry11款,可应用于14-90nm制程节点。
在高端光刻胶产品方面,徐州博康的ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶,已经能够应用至40nm/28nm工艺节点,是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶。
在工艺创新方面,公司成功解决浸没式ArF光刻胶的耐干刻蚀问题,通过引入金刚烷基团到侧链,显著提升了刻蚀选择比至6:1,这一成就已达到国际领先水平。
徐州博康也是国内唯一可提供特定KrF产品的公司,其金属剥离负胶主要针对lift-off工艺,底部倒角可控。目前公司的研发人员也在迅速扩充,预计到2025年底将近200人。
03 产能与客户:双轮驱动增长
在产能布局上,华懋科技计划在2025年建立100吨级的ArF光刻胶生产基地,并同步配备光酸纯化设备,以确保核心原料的自主可控。
东阳华芯的“年产8000吨光刻材料新建项目”进展顺利,公司对东阳华芯实施控制并纳入合并报表范围。据测算,项目达产后年产品销售收入为21.66亿元(不含增值税),年均净利润为3.41亿元。
在客户拓展方面,徐州博康的产品已导入国内多家重要12英寸晶圆厂并获验证。2022年以来,公司有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单。
更值得关注的是,徐州博康已与合肥长鑫达成5年独家供应协议,其产品已顺利通过7nm制程验证,预计在2026年实现大规模供货。
04 国产替代的紧迫性与市场空间
光刻胶国产替代已上升至国家战略层面。在“十四五”新材料专项规划中,光刻胶被明确列入关键电子化学品清单,并配套了百亿级的专项资金支持。
目前,中国光刻胶自给率不足20%,高端ArF/EUV光刻胶更是90%以上依赖日美企业。其中,g线/i线/Krf/Arf光刻胶国产化率分别为10%/10%/1%/1%,处于极低水平。
巨大的国产替代空间意味着巨大的市场机会。预计2025年中国光刻胶市场规模将突破280亿元,其中半导体光刻胶占比将达到55%。成熟制程(28nm以上)的国产化率预计将在2026年达到80%。
华懋科技在光刻胶领域的布局已获得产业资本认可。华为通过旗下投资公司哈勃科技成为徐州博康第四大股东,持股9.8%,投资金额达3亿元,系其布局半导体材料领域中最大的一单笔投资。
05 从新锐到龙头:华懋科技的晋升之路
华懋科技的光刻胶业务已开始贡献业绩。2023年上半年,徐州博康新增1款ArF光刻胶和2款I线光刻胶通过客户端验证导入量产。机构预测,公司2023-2025年归母净利润分别为4.80/6.70/8.88亿元,对应当前股价PE分别为26/19/14倍。
在资本市场,华懋科技已被视为半导体光刻胶龙头股。截至2025年9月30日,多家公募基金将公司纳入十大流通股东。
华懋科技的龙头地位主要体现在三个方面:技术层面,具备全产业链自主可控能力;产能层面,拥有规模化生产基地和扩张计划;客户层面,已进入国内主流晶圆厂供应链。
随着日本对华光刻胶出口管制加剧,国产替代进程将进一步加速。华懋科技凭借其全产业链布局和技术优势,有望在国内高端光刻胶市场占据重要份额,成为中国半导体材料自主可控的关键企业。
徐州博康的邳州新工厂规划1100吨光刻材料产能,预计完全达产后产值20亿元。而东阳华芯的“年产8000吨光刻材料”项目建成后,年产值将超20亿元。
未来三年,中国ArF光刻胶市场份额有望突破15%。届时,华懋科技将不再只是光刻胶领域的新锐,而是真正意义上的行业龙头,肩负起中国半导体材料自主化的重要使命。