$京仪装备(SH688652)$ $汉钟精机(SZ002158)$
京仪装备深耕半导体专用温控、工艺费气处理设备，龙头客户大批量装机形成先发优势，新客户导入逐步放量。
真空泵是半导体设备的心脏，国产化占比很低，市场替代空间大。汉钟精机半导体真空泵已经批量出货，有望受益于国产替代。