$利和兴(SZ301013)$ 国产光刻机1-100的路径出来了，出来的原因是良率提升，良率提升的原因是多重曝光走通了，走通了的原因是使用了新凯来精准定位技术，精准定位就是用了利和兴公司全自动纳米压印技术中的快速精密对位、非接触精确测厚、精密缺陷检测、光透传感、位移及角度补偿等自动控制相关技术，逻辑闭环了。