半导体气体2026

2026 年半导体气体领域的核心政策将围绕自主可控、技术突破、产能扩张三大主线展开，具体落地规划包括以下六个方面：

一、国产替代加速：政策驱动下的核心目标

国产化率提升至 50% 以上
国家将延续《电子气体产业三年行动计划》（2023-2025 年）的目标，推动电子特气国产化率从 2025 年的 25% 提升至 2026 年的 50% 以上。重点突破 ** 六氟丁二烯（C4F6）、三氟化氮（NF3）** 等高端产品，减少对林德、空气化工等国际巨头的依赖。例如，大基金三期已通过子基金对华虹鼎新、国投集新注资超 1600 亿元，重点支持电子气体材料研发。

氦气供应链安全强化
针对氦气进口依赖度超 90% 的现状，国家将加速推进内蒙古、宁夏等地的氦气提纯项目，目标在 2026 年将国产氦气供应比例提升至 28%。同时，通过与卡塔尔、俄罗斯等气源国签订长期协议（如广钢气体的 20 年进口合同），构建 “进