半导体气体2026

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科技型生产力
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2026 年半导体气体领域的核心政策将围绕自主可控、技术突破、产能扩张三大主线展开,具体落地规划包括以下六个方面:

一、国产替代加速:政策驱动下的核心目标

国产化率提升至 50% 以上
国家将延续《电子气体产业三年行动计划》(2023-2025 年)的目标,推动电子特气国产化率从 2025 年的 25% 提升至 2026 年的 50% 以上。重点突破 ** 六氟丁二烯(C4F6)、三氟化氮(NF3)** 等高端产品,减少对林德、空气化工等国际巨头的依赖。例如,大基金三期已通过子基金对华虹鼎新、国投集新注资超 1600 亿元,重点支持电子气体材料研发。

氦气供应链安全强化
针对氦气进口依赖度超 90% 的现状,国家将加速推进内蒙古、宁夏等地的氦气提纯项目,目标在 2026 年将国产氦气供应比例提升至 28%。同时,通过与卡塔尔、俄罗斯等气源国签订长期协议(如广钢气体的 20 年进口合同),构建 “进口 + 回收” 的混合供应体系。

二、技术攻坚:突破卡脖子环节

纯度标准升级与绿色工艺
推动气体纯度从6N(99.9999%)向 7N(99.99999%)进阶,重点支持高纯度氨、硅烷等产品的量产技术突破。例如,金宏气体已实现 7N 级超纯氨规模化生产,纯度指标超越国际 SEMI 标准。同时,推广电化学法制备三氟化氮等绿色工艺,降低能耗 37% 以上。

第三代半导体配套气体研发
针对 SiC、GaN 等第三代半导体对超高纯度氨气的需求(年增长 30%),国家将设立专项基金支持相关气体研发。例如,和远气体的电子级硅烷(7N 级别)已导入长江存储供应链,2026 年产能预计达 2 万吨 / 年。

三、产能扩张:构建区域产业集群

重点项目落地与产能释放
2026 年国内在建电子气体项目设计产能超 250 万标方 / 年,其中广钢气体武汉华中气体岛(100 万标方 / 年)、凯美特气岳阳基地(1.5 万标方 / 年)等项目将集中投产。同时,长三角珠三角、成渝三大产业集群将进一步整合,苏州工业园区、深圳坪山等区域的气体产能占比预计达全国 73%中山市人民政府

海外基地布局加速
鼓励企业 “走出去”,例如广钢气体的泰国基地二期(月产氦气 10 吨)将在 2026 年提升产能利用率至 70%,同时探索在中东、东南亚建设气体存储中心。

四、资金支持:大基金三期与地方政策协同

大基金三期精准投资
大基金三期(注册资本 3440 亿元)将重点投向电子气体纯化设备、检测仪器等关键领域。例如,北方华创的刻蚀气体纯化设备已通过中芯国际验证,2026 年计划扩产至年产 500 台。

地方政策配套
广州、中山等地出台专项政策,对新引进的电子气体项目给予最高 1000 万元设备补贴,并提供税收优惠(如企业所得税减免 15%)中山市人民政府。例如,广州开发区对固定资产投资超 1000 万元的项目,按设备投资额的 15% 给予扶持。

五、标准与安全:国际接轨与风险防控

国家标准与国际同步
国内《电子工业用气体》(GB/T 16942)已更新至 2024 版,与 SEMI C1.2、SEMI E49.1 等国际标准接轨,助力国产气体进入台积电、三星等国际供应链。同时,推动 **《电子级六氟丁二烯》国家标准 ** 在 2026 年正式实施,解决客户认证周期过长问题。

安全生产与应急体系
强制要求晶圆厂配备AI 驱动的气体扩散预测系统(如欧盟 IED 指令要求),并建立区域性气体应急储备中心。例如,中芯国际、华虹等企业已在长三角部署氦气储备库,保障极端情况下的供应链稳定。

六、市场拓展:新兴领域与国际合作

新兴应用场景开发
推动气体在液冷散热、氢能源等领域的应用。例如,英维克高澜股份已占据液冷气体市场 65% 份额,国家将支持企业从单一气体供应商向液冷系统集成商转型。同时,燃料电池用超纯氢气(6N 级)的年需求增速预计维持在 31% 以上。

国际合作与出口
通过 “一带一路” 合作,扩大氖气、氪气等稀有气体出口。例如,2024 年国内氖气出口量同比增长 210%,2026 年目标出口占比提升至 35%。同时,参与国际标准制定,提升国产气体在全球供应链中的话语权。

结语:国产替代与技术自主的关键年

2026 年将是半导体气体产业政策红利释放、技术突破加速、产能集中落地的关键节点。国家通过大基金三期、地方产业政策、技术标准升级等多维度支持,推动行业从 “进口替代” 向 “全球引领” 转型。投资者需重点关注电子特气量产进度、氦气储备项目投产、第三代半导体配套气体认证三大信号,把握国产替代浪潮中的结构性机会。

结合行业动态与公司公告,目前 A 股市场中明确具备氦气自主生产能力的上市公司主要有以下四家,其技术路径与产能布局各有特点:

一、杭氧股份(002430):空分设备龙头延伸氦气产业链

作为国内空分设备领域的绝对龙头,杭氧股份通过技术延伸实现氦气自主生产。公司 2020 年明确回复投资者称,其投资的空分设备中部分具备提取氦气的能力。核心技术路径为从含氦天然气中分离提纯,已形成稳定的氦气产品线,包括瓶装氦气、液氦等。截至 2025 年,公司氦气业务收入占比约 3%,主要客户覆盖半导体、科研机构等高端领域。

二、金宏气体(688106):电子特气领域的氦气全链条布局

金宏气体是国内少数具备氦气全产业链能力的企业。其氦气生产采用工业尾气回收提纯技术,可从石化、半导体等行业的尾气中提取高纯氦气。公司不仅拥有氦气提纯装置,还自建液氦存储设施,形成从原料回收、提纯到储运的完整闭环。2025 年上半年,公司氦气业务毛利率达 22%,显著高于行业平均水平,主要得益于电子级氦气(纯度≥99.999%)在半导体客户中的高溢价。

三、凯美特气(002549):石化尾气回收的氦气生产模式

凯美特气通过子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司实现氦气生产。其核心技术是从石化装置尾气中分离氦气,具体路径为:利用己内酰胺产业链装置产生的粗氖氦氮气,经过低温精馏、吸附等工艺提纯出高纯氦气。2025 年 Q1,公司氦气产能达 1.5 万标方 / 年,主要供应华中地区的半导体封装企业。值得注意的是,公司氦气生产成本较进口气低约 30%,具备较强的价格竞争力。

四、广钢气体(688548):内资气体企业的氦气供应链突破

广钢气体是国内唯一进入全球氦气供应链的内资企业,其氦气生产以工业尾气回收 + 海外气源采购双轮驱动。具体来看:

回收技术:通过自主研发的氦气提纯装置,从钢铁、化工行业尾气中提取氦气,武汉华中气体岛改造项目投产后,年产能将达 100 万 Nm³。

海外合作:与卡塔尔签订 20 年长期氦气采购协议,并建设液氦冷箱(2025 年预计达 100 个)提升储运能力,形成 “进口 + 回收” 的混合供应体系。

技术壁垒:公司氦气产品纯度达 ppb 级,可满足半导体制造对气体杂质含量的严苛要求,已进入中芯国际、华星光电等头部企业供应链。

五、技术路径对比与投资逻辑

公司名称氦气来源纯度水平核心客户产能规划(2025 年)杭氧股份天然气分离99.999%中微公司北方华创50 万标方 / 年金宏气体工业尾气回收99.9999%台积电、长鑫存储80 万标方 / 年凯美特气石化尾气回收99.995%通富微电深南电路1.5 万标方 / 年广钢气体回收 + 进口混合99.9999%中芯国际、华星光电100 万标方 / 年(回收)

六、风险提示

技术替代风险:若液氢储运技术突破(如超临界液氢密度提升至 70kg/m³),可能降低氦气在低温领域的应用需求。

成本波动风险:国际氦价受地缘政治影响显著(如卡塔尔出口政策变动),可能冲击国内企业盈利。

产能过剩风险:2025-2027 年国内氦气产能预计增长 40%,需警惕价格战对行业毛利率的侵蚀。

结语

氦气作为 “气体稀土”,其自主生产能力是衡量半导体产业链安全的重要指标。上述四家公司中,广钢气体凭借全球供应链布局和技术突破最具长期潜力,金宏气体在电子级氦气领域占据先发优势,杭氧股份受益于空分设备与气体业务的协同效应,凯美特气则具备区域成本优势。投资者可重点关注各公司氦气产能释放进度、客户认证进展及国际气源稳定性,把握国产替代浪潮中的结构性机会。

2026 年半导体气体领域的核心政策将围绕自主可控、技术突破、产能扩张三大主线展开,具体落地规划包括以下六个方面:

一、国产替代加速:政策驱动下的核心目标

国产化率提升至 50% 以上
国家将延续《电子气体产业三年行动计划》(2023-2025 年)的目标,推动电子特气国产化率从 2025 年的 25% 提升至 2026 年的 50% 以上。重点突破 ** 六氟丁二烯(C4F6)、三氟化氮(NF3)** 等高端产品,减少对林德、空气化工等国际巨头的依赖。例如,大基金三期已通过子基金对华虹鼎新、国投集新注资超 1600 亿元,重点支持电子气体材料研发。

氦气供应链安全强化
针对氦气进口依赖度超 90% 的现状,国家将加速推进内蒙古、宁夏等地的氦气提纯项目,目标在 2026 年将国产氦气供应比例提升至 28%。同时,通过与卡塔尔、俄罗斯等气源国签订长期协议(如广钢气体的 20 年进口合同),构建 “进口 + 回收” 的混合供应体系。

二、技术攻坚:突破卡脖子环节

纯度标准升级与绿色工艺
推动气体纯度从6N(99.9999%)向 7N(99.99999%)进阶,重点支持高纯度氨、硅烷等产品的量产技术突破。例如,金宏气体已实现 7N 级超纯氨规模化生产,纯度指标超越国际 SEMI 标准。同时,推广电化学法制备三氟化氮等绿色工艺,降低能耗 37% 以上。

第三代半导体配套气体研发
针对 SiC、GaN 等第三代半导体对超高纯度氨气的需求(年增长 30%),国家将设立专项基金支持相关气体研发。例如,和远气体的电子级硅烷(7N 级别)已导入长江存储供应链,2026 年产能预计达 2 万吨 / 年。

三、产能扩张:构建区域产业集群

重点项目落地与产能释放
2026 年国内在建电子气体项目设计产能超 250 万标方 / 年,其中广钢气体武汉华中气体岛(100 万标方 / 年)、凯美特气岳阳基地(1.5 万标方 / 年)等项目将集中投产。同时,长三角珠三角、成渝三大产业集群将进一步整合,苏州工业园区、深圳坪山等区域的气体产能占比预计达全国 73%中山市人民政府

海外基地布局加速
鼓励企业 “走出去”,例如广钢气体的泰国基地二期(月产氦气 10 吨)将在 2026 年提升产能利用率至 70%,同时探索在中东、东南亚建设气体存储中心。

四、资金支持:大基金三期与地方政策协同

大基金三期精准投资
大基金三期(注册资本 3440 亿元)将重点投向电子气体纯化设备、检测仪器等关键领域。例如,北方华创的刻蚀气体纯化设备已通过中芯国际验证,2026 年计划扩产至年产 500 台。

地方政策配套
广州、中山等地出台专项政策,对新引进的电子气体项目给予最高 1000 万元设备补贴,并提供税收优惠(如企业所得税减免 15%)中山市人民政府。例如,广州开发区对固定资产投资超 1000 万元的项目,按设备投资额的 15% 给予扶持。

五、标准与安全:国际接轨与风险防控

国家标准与国际同步
国内《电子工业用气体》(GB/T 16942)已更新至 2024 版,与 SEMI C1.2、SEMI E49.1 等国际标准接轨,助力国产气体进入台积电、三星等国际供应链。同时,推动 **《电子级六氟丁二烯》国家标准 ** 在 2026 年正式实施,解决客户认证周期过长问题。

安全生产与应急体系
强制要求晶圆厂配备AI 驱动的气体扩散预测系统(如欧盟 IED 指令要求),并建立区域性气体应急储备中心。例如,中芯国际、华虹等企业已在长三角部署氦气储备库,保障极端情况下的供应链稳定。

六、市场拓展:新兴领域与国际合作

新兴应用场景开发
推动气体在液冷散热、氢能源等领域的应用。例如,英维克高澜股份已占据液冷气体市场 65% 份额,国家将支持企业从单一气体供应商向液冷系统集成商转型。同时,燃料电池用超纯氢气(6N 级)的年需求增速预计维持在 31% 以上。

国际合作与出口
通过 “一带一路” 合作,扩大氖气、氪气等稀有气体出口。例如,2024 年国内氖气出口量同比增长 210%,2026 年目标出口占比提升至 35%。同时,参与国际标准制定,提升国产气体在全球供应链中的话语权。

结语:国产替代与技术自主的关键年

2026 年将是半导体气体产业政策红利释放、技术突破加速、产能集中落地的关键节点。国家通过大基金三期、地方产业政策、技术标准升级等多维度支持,推动行业从 “进口替代” 向 “全球引领” 转型。投资者需重点关注电子特气量产进度、氦气储备项目投产、第三代半导体配套气体认证三大信号,把握国产替代浪潮中的结构性机会。