一篇三年前的旧文，大家可以搜一下“2025年底3M停产PFAS，全球半导体制造业将何去何从？”
3M公司宣布，停止包括干蚀刻装置用的制冷剂在内的所有PFAS的制造。在未来的三年里，世界上的半导体工厂将不得不准备制冷剂作为3M公司的替代品。做不到这一点的半导体工厂将停止运转。
干法刻蚀时，等离子的热量流入晶圆，若不采取措施，晶圆温度将升高，刻蚀特性将发生波动。因此，为了保持一定的刻蚀特性，需要控制晶圆的温度恒定。
因此，使用被称为冷却器的装置从静电吸盘的背面流出一定温度的冷却液，使其循环，从而使静电吸盘的温度保持恒定。3M 的 Fluorinert 用作这种制冷剂。查看图片