对日反倾销调查 ：二氯二氢硅（DCS）国内供应格局梳理
伏白的交易笔记
· 浙江
一. 驱动事件
1月7日，公告自即日起对原产于日本的进口二氯二氢硅进行反倾销立案调查：
2022年至2024年，自日本进口的二氯二氢硅总体呈上升趋势，价格累计下跌31%，自日倾销进口产品对中国国内产业生产经营造成了损害。
二. 二氯二氢硅概览
二氯二氢硅即二氯硅烷，简称DCS，化学式SiH₂Cl₂，是一种无色透明、易燃易爆的液化气体，是半导体、光伏领域的核心电子气体之一。
2.1 性能特点（半导体制造场景）
（1）高反应活性：易与硅片表面反应，形成均匀硅薄膜，适用于先进制程芯片制造。
（2）低沉积温度：分解温度低（约600~800℃），减少对硅片的热损伤，提升良率。
2.2 产业链
（1）原材料：硅粉（Si）、氯化氢（HCl）、催化剂（如铜）、吸附剂（去除硼、磷杂质）。
（2）制备工艺：主流为歧化法，三氯氢硅（TCS）在催化剂下歧化生成二氯二氢硅，并经精馏提纯、杂质脱除制得。
三. 二氯二氢硅供需格局
3.1 需求端
（1）半导体
半导体前道工艺是在晶圆上构建电路结构，主要步骤：晶圆准备→薄膜沉积→光刻显影→刻蚀→离子注入→抛光→测试。
薄膜沉积环节：在晶圆表面沉积特定功能的薄膜，如绝缘层/金属层/半导体层，为后续光刻提供基底材料。
二氯二氢硅用于薄膜沉积CVD工艺，如逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片、功率器件的外延膜、碳化硅膜、氮化硅膜、氧化硅膜制备。
（2）光伏多晶硅
用于生产晶硅太阳能电池，通过CVD工艺在硅片表面沉积氮化硅膜。
3.2 供给端
（1）海外：信越化学（日）、酸素控股（日）、住友精化（日）、空气化工（美）、林德气体（德）、液化空气（法）。
（2）国内：三孚股份（500吨年产能）、金宏气体（200吨产能试生产）、和远气体（300吨产能试生产）、华特气体（4N级20吨年产能）。