供需失衡推动提价:溅射靶材供应格局梳理

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伏白的交易笔记
 · 浙江  

一. 驱动逻辑

(1)中期视角

需求端:AI大周期下,先进制程+存储带动半导体靶材需求。

供给端:稀土掺杂可提升靶材性,随着稀土及关键金属出口管制收紧,海外巨头扩产相对受限、国内自主可控提速。

(2)短期催化

日矿金属因铜等金属材料提价已上修收入指引;国内靶材26Q1普遍提价20%,特殊小金属提价60%。

二. 溅射靶材概览

靶材是物理气相沉积(PVD)工艺中的关键耗材,通过溅射工艺将靶材原子沉积在基板(如硅片、玻璃),形成纳米级功能薄膜。

靶材作为粒子源,其纯度、成分均匀性、微观结构直接影响薄膜的电学、光学和机械性能。

磁控溅射工艺流程:真空环境准备→等离子体产生(氩离子)→靶材原子溅射→薄膜沉积。

三. 溅射靶材分类

3.1 金属靶材

(1)定义:由单一金属元素制成,如铝靶、铜靶、钛靶、钽靶、钨靶、钼靶、镍靶、锆靶等。

(2)特点:具有良好的导电性、导热性和可塑性。

(3)应用:半导体(铜靶用于互连层、钛靶/钽靶用于阻挡层、铝靶用于导电层)、显示面板(反射层、电极层)、光伏(导电层、电极层)。

3.2 合金靶材

(1)定义:由两种或以上金属元素混合制成,如镍铬、钴钨、钛铝、铝铜等。

(2)特点:通过合金化优化性能,如耐腐蚀性、硬度、导电性。

(3)应用:半导体(薄膜电阻、磁性存储)、显示面板(抗反射膜)。

3.3 陶瓷靶材

(1)定义:由氧化物、氮化物、硫化物等陶瓷材料制成,如氧化铟锡、氮化钛、氧化硅、氮化铝等。

(2)特点:耐高温、光学性能优异(透光性、反射率)。

(3)应用:半导体(绝缘层)、显示面板(透明导电膜)、光学镀膜(增透膜、高反膜)。

四. 靶材制造产业链

(1)金属提纯:化学提纯(湿法、火法)、物理提纯(蒸发结晶、电迁移、熔融法等步骤)。

(2)靶材制造:技术门槛高、设备投资大、工艺参数复杂,全球市场呈寡头垄断。

(3)终端应用:芯片半导体(5N级,先进制程达到6N级)、显示面板(5N级)、光伏(4N级)。

五. 市场格局

(1)海外:四大厂商全球份额占比超80%,包括日矿金属(日)、霍尼韦尔(美)、东曹(日)、普莱克斯(美,现属林德集团)。

(2)国内:江丰电子(半导体靶材龙头)、阿石创(靶材镀膜一体化布局)、欧莱新材(面板/半导体靶材)、隆华科技(显示靶材龙头)。

$阿石创(SZ300706)$ $巨力索具(SZ002342)$ $网宿科技(SZ300017)$