赛莱克斯北京MEMS硅晶振通过验证并启动试产

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张阿斌
 · 北京  

近日,$赛微电子(SZ300456)$ 控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(以下简称“赛莱克斯北京”)为某客户制造的硅晶振通过了客户验证,赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单,启动首批MEMS硅晶振8英寸晶圆的小批量试生产。

根据是否依靠外部电路,晶振可分为无源(Crystal,又名晶体/谐振器)和有源(Oscillator,又名振荡器)两种类型。前者适用于对功耗和成本要求严格,对稳定性要求低的场合,后者适用对时钟信号精度要求高、稳定性强的场合。

根据材质,晶振可分为陶瓷晶振、石英晶振和硅晶振。其中,石英晶振占据主导地位,精度高、耗电量小、相噪抖动较小,但一般需要经过很长的生产周期,生产流程包括切割、镀银、封装、测试、老化等数十道工序。为克服石英振荡器制造周期长的缺点,MEMS硅晶振应运而生,且近年来有显著上升趋势。MEMS硅晶振以硅为原材料,通过采用MEMS工艺制造形成一个微机械振动结构,以产生稳定的振动频率,具有体积小、抗冲击、可编程、可批量生产等特点。

晶振的应用领域十分广泛,包括可穿戴设备、家用电器、智能家居、手机电脑等消费领域,导航、基站、通讯、汽车等工业领域,以及原子钟、测量设备、遥测、遥感、遥控等科研领域。

2025年3月,据麦姆斯咨询报道,TechInsights发布了对苹果公司新款智能手机iPhone 16e拆解报告,发现该款手机集成了SiTime公司的MEMS时钟器件。这是MEMS时钟器件首次进入智能手机,预计带动SiTime的MEMS时钟器件出货量在今后三年分别为4200万颗、1.1-1.3亿颗、2.5-3亿颗。同时英伟达在人工智能算力基础设施领域,也采用了SiTime的MEMS时钟发生器,以进一步提升网络数据传输和处理的精度与效率,同时节省大量能源。根据Yole Intelligence的预测,2027年全球MEMS时钟市场有望达16亿美元。

赛莱克斯北京为客户开发的8英寸MEMS硅晶振晶圆

赛莱克斯北京的首批MEMS硅晶振试生产顺利启动,标志着其在高性能MEMS器件制造能力上的进一步提升。随着全球MEMS时钟市场的快速增长,赛莱克斯北京将有望在消费电子、工业汽车等多个领域抓住机遇,为客户提供高性能MEMS硅晶振晶圆的工艺开发及晶圆制造服务,以关键制造平台的角色进一步助力推动我国MEMS产业的自主可控发展。