:rocket:半导体制造“心脏”:洁净室技术全解析,这些A股公司已成头部供应商!
洁净室是半导体制造的“无菌手术室”,通过精密过滤、温湿度控制、气流管理等技术,实现零污染、高稳定性的生产环境,直接决定芯片良率与性能。其核心目标包括严格防控尘埃、金属离子等污染物,并精准调控温湿度、气压、静电等参数,以满足光刻、刻蚀等工艺的极致要求。
📊按国际ISO标准,洁净室分为1-9级,其中ISO 1级(光刻/蚀刻)、ISO 3级(离子注入/CVD)、ISO 6级(封装测试)为常用级别;气流组织则分单向流(适用于高洁净要求区域)和非单向流(封装/物料区)。
🏗核心组成包括:
✅HEPA/ULPA超高效过滤系统
✅环境控制系统(HVAC)
✅风机过滤单元(FFU)
✅高密封防静电围护结构
✅洁净门/传递窗
💡国内洁净室工程头部企业:
🔷亚翔集成(603929):提供半导体洁净室全流程解决方案,客户覆盖中芯国际、长鑫存储、三星等巨头。
🔷圣晖集成(603163):专注半导体与生物医药洁净室工程,服务英诺赛科、中芯国际、华虹半导体等企业。
🔷柏诚股份(601133):主营半导体、面板、生物医药洁净室系统,重要客户包括台积电、京东方、长鑫存储。
洁净室作为半导体产业底层基础保障,伴随国产芯片产能扩张迎来高速发展,相关系统集成与设备供应商值得长期关注!
$万向钱潮(SZ000559)$ $长川科技(SZ300604)$ $楚天科技(SZ300358)$