在晶圆级探针台这一高壁垒领域，国内上市公司的研发与产业化进展已取得实质性突破，尽管整体国产化率仍较低，但部分龙头企业已实现技术追平并进入头部客户供应链。以下是主要参与者及其最新动态：
一、矽电股份（301629）——国产探针台领军者
技术突破与市场地位
- 12英寸晶圆探针台量产：作为大陆首家实现12英寸探针台产业化的企业，其PT-930系列定位精度达±1.3μm，接近日本东京电子（±0.8μm）和东京精密的水平 。该产品已通过中芯国际28nm工艺验证，并进入长江存储等重点客户试产阶段。
- 全场景覆盖：产品涵盖4-12英寸晶圆探针台及晶粒探针台，在LED芯片领域市占率超70%，三安光电、华灿光电等头部企业的Mini/MicroLED产线均采用其设备。2023年国内探针台市场份额达25.7%，连续多年位居国产厂商首位。
研发投入与客户壁垒
- 核心技术积累：掌握高精度步进、智能视觉算法等六大核心技术，拥有246项授权专利，部分技术指标达国际同类水平。2025年推出的Mini/MicroLED倒装晶粒探针台，支持多芯同测与宽温域环境，已应用于三安光电最新产线。
- 客户深度绑定：进入士兰微、比亚迪半导体、燕东微、华润微等晶圆厂供应链，同时与华天科技、长电科技等封测企业建立长期合作。华为哈勃于2021年入股，持股4%，凸显技术认可度。
- 产能扩张计划：IPO募投项目拟扩充250台12英寸探针台产能，单价预计80万元/台，完全达产后年产值约2亿元。
二、长川科技（300604）——测试设备综合供应商
业务布局与技术进展
- 探针台配套测试机：探针台作为测试机、分选机的配套产品，2024年收入占比约10%，主要应用于分立器件与功率芯片测试，支持8英寸及以下晶圆。其全自动超精密探针台CP12兼容8/12英寸晶圆，自主研发的视觉系统可实现晶圆与探针自动定位，精度可达±1.5μm。
- AI算力芯片测试突破：针对HBM（高带宽存储器）、车规级芯片等需求，开发了三温探针台（-55℃至200℃）和支持200Mbps高速数字测试的CP12-Memory型号，与D9000系列测试机协同形成一站式解决方案。
研发挑战与市场机遇
- 高端技术攻坚：高端探针台研发项目曾因技术壁垒高和客户认证严格两度延期至2025年底，目标将精度提升至±1.0μm。2024年研发费用率达22%，重点突破高精度定位技术。
- 订单增长显著：2025年订单同比增长30%，其中探针台订单占比提升至15%，并通过收购新加坡STI公司完善AOI检测产品线，增强整体竞争力。
三、其他潜在参与者
1. 精测电子（300567）
- 探针台技术协同：在Micro LED/OLED检测设备中，与TEL探针台（P8/P12）集成，实现ATE测试与AOI检测一体化。其自研的JI-IYM-S系列光谱分光式成像亮度计可同步输出亮度/色度数据，支持AI缺陷复判，但探针台本体仍依赖外部采购 。
- 研发方向：重点布局显示面板检测设备与半导体测试设备的交叉领域，未来可能通过技术整合切入晶圆级探针台市场。
2. 泰克半导体（非上市）
- 量产能力与技术参数：年出货量突破400台，自主研发的X200-AS全自动探针台重复定位精度±3μm，支持8/12英寸晶圆切换，覆盖逻辑芯片、功率器件等测试场景。其-60℃至200℃宽温域测试能力可满足第三代半导体（SiC/GaN）需求。
- 客户合作：与三安光电、华润微、中电41所等达成合作，24小时响应的本地化服务成为竞争优势。
3. 士兰微（600460）
- 内部测试需求驱动：作为IDM厂商，自主研发全自动超精密探针台用于内部晶圆测试，填补国内空白，但未明确对外销售计划。其探针台技术可能随功率器件产能扩张逐步成熟。
四、行业趋势与挑战
政策与市场红利
- 国产替代加速：国家大基金二期重点支持半导体设备国产化，探针台作为前道测试关键设备，2025年国产化率目标提升至35%。随着28nm以下先进制程量产，探针台需支持更小pad间距（<50μm）与更高测试频率（>10GHz），矽电股份的PT-930系列已通过中芯国际28nm工艺验证。
- 新兴领域增量：第三代半导体（SiC/GaN）测试需求爆发，泰克半导体等企业推出的高压探针台（支持10kV以上测试）已应用于车规级IGBT芯片测试。
技术壁垒与风险
- 高端设备依赖进口：12英寸±0.8μm精度的高端探针台仍被东京电子、东京精密垄断，矽电股份需在2026年前突破核心技术，否则可能面临日企降价挤压。
- 研发投入压力：长川科技等企业研发费用率超20%，且高端探针台研发周期长（通常3-5年），需持续资金支持。
五、总结
目前，矽电股份是国内晶圆级探针台领域技术最领先、产业化进展最快的上市公司，其12英寸探针台已实现批量出货并进入头部客户供应链。长川科技通过测试设备协同优势，在功率器件与AI算力芯片测试领域占据一席之地。尽管国产替代仍处于早期阶段，但政策支持与技术突破将推动行业快速发展。投资者可重点关注矽电股份的产能释放与长川科技的高端技术突破，同时警惕日企技术封锁与价格竞争风险。