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无花果陈隽
 · 浙江  

新凯来(SiCarrier)作为中国半导体设备领域的“国家队”,其全流程设备矩阵的突破直接带动了产业链上下游的国产替代进程。以下是基于最新合作动态和技术协同性梳理的核心概念股,涵盖关键零部件、材料及技术合作方,部分标的已通过订单验证或技术适配进入量产阶段:
一、核心零部件供应商
1. 新莱应材(300260)
- 技术卡位:国内唯一实现高端真空系统国产化的企业,为新凯来刻蚀、薄膜沉积设备提供超高纯净度管路系统、真空阀门,纯度达99.999%(西马标准)。
- 订单进展:2024年三季度订单同比增长48%,半导体业务毛利率突破30%,2025年新增数亿级订单覆盖先进制程液冷组件。
- 客户覆盖:同时供货中芯国际、应用材料等国际巨头,形成“国产替代+全球渗透”双轮驱动。
2. 至纯科技(603690)
- 核心设备:湿法清洗设备独家供应商,2021年获新凯来首批3000万元订单,2024年订单同比增长300%,设备适配逻辑芯片、存储芯片及第三代半导体工艺。
- 技术突破:独创硫酸回收技术可单台年省160万美元成本,28nm清洗设备已量产,14nm以下设备进入中芯国际验证阶段。
- 协同效应:与新凯来联合开发工艺,推动国产设备在长江存储等晶圆厂的验证提速。
3. 奥普光电(002338)
- 合资研发:控股股东长春光机所与新凯来合资成立长光集智,独家供应光刻机曝光系统核心部件,纳米级物镜精度技术已应用于新凯来原型机。
- 技术进展:适配DUV及EUV光源的光学模组通过测试,成为A股唯一明确涉及5nm光刻机供应链的公司。
- 资本动作:参股公司长光辰芯拟赴港上市,聚焦高性能CMOS图像传感器,间接支撑新凯来量检测设备研发 。
4. 利和兴(301013)
- 业务范围:核心设备组装与测试环节供应商,提供精密结构件、自动化测试夹具,覆盖刻蚀、薄膜沉积设备全流程。
- 订单规模:2024年营收5.77亿元(同比+22.8%),新凯来为前五大客户之一,预计订单贡献约7-8亿元,相当于“再造一个公司” 。
- 技术协同:参与新凯来设备整机装配,技术指标满足5nm制程需求。
5. 富创精密(688409)
- 产品适配:供应刻蚀机腔体、法兰等精密金属部件,7nm工艺产品已量产,通过ASML认证并进入其供应链。
- 订单增长:2024年半导体业务收入占比超50%,新凯来为头部客户之一,订单金额随设备量产持续攀升。
二、关键材料供应商
1. 江丰电子(300666)
- 靶材突破:国内唯一实现5nm制程靶材量产的企业,PVD设备所需超高纯金属靶材通过台积电认证,与新凯来PVD设备形成技术协同。
- 静电吸盘:2025年1月与韩国KSTE合作引进该技术,计划国产化量产,适配新凯来量测设备需求 。
- 市场预期:虽未官宣合作,但技术布局与新凯来设备高度契合,被市场视为潜在核心供应商。
2. 南大光电(300346)
- 光刻胶适配:ArF光刻胶通过中芯国际28nm产线验证,适配新凯来自主研发的SAOP曝光工艺,用于5nm等效制程芯片制造。
- 技术指标:线宽均匀性控制在3nm以内,对比度达12以上,接近日本信越化学高端产品水平,2024年光刻胶业务收入同比+170%。
- 产业链协同:与华为联合开发光刻胶智能检测系统,提升缺陷分析速度10倍,间接支撑新凯来工艺优化。
3. 路维光电(688401)
- 掩膜版供应:自2024年起向新凯来批量交付40-55nm光掩膜版,28nm产品进入产线验证阶段,与SAOP工艺形成技术互补。
- 产能扩张:2025年产能提升至10万片/年,订单覆盖中芯国际、华虹集团等头部晶圆厂。
4. 华特气体(688268)
- 电子特气:供应高纯度氟碳类气体(纯度99.9997%),用于新凯来刻蚀设备,虽业务占比小(<5%),但技术通过ASML认证,具有战略意义。
- 产能规划:2025年扩产500吨/年三氟化氮,纯度达99.999%,满足先进制程需求。
三、技术合作与工艺协同方
1. 茂莱光学(688502)
- 光学部件:为新凯来EUV光刻机提供物镜及匀光系统,是国内唯一实现量产的企业,支撑光源精准调制,镜片加工精度达纳米级。
- 研发进展:参与新凯来DUV光刻机光学模块开发,直径300mm器件突破常规精度限制,预计2026年随设备量产进入收获期。
2. 正帆科技(688596)
- 气体输送模组:核心产品GasBox用于新凯来刻蚀、薄膜沉积设备,2024年半导体业务收入占比51%,新凯来为头部客户之一。
- 供应链验证:同时向北方华创拓荆科技批量供货,技术成熟度获行业认可。
3. 同惠电子(833509)
- 测试设备:供应精密阻抗分析仪、半导体特性分析仪,用于新凯来功率测试设备研发,适配5nm制程需求,2024年获大基金二期增持至2.18%。
- 客户粘性:与华为海思、新凯来形成长期合作,成为北交所唯一同时进入两大供应链的测试设备商。
四、潜在受益与战略布局标的
1. 冠石科技(605588)
- 掩膜版协同:量产半导体级石英掩膜版,40-55nm产品适配SAOP工艺,28nm产品进入新凯来验证阶段,2024年产能利用率达90%。
- 技术延伸:与新凯来联合开发下一代光刻胶配套材料,目标替代日本JSR产品。
2. 蓝英装备(300293)
- 精密清洗:曾传闻供应清洗系统,但公司2025年4月澄清“暂未合作”,需关注后续设备量产带来的配套机会 。
3. 盛剑环境(603324)
- 废气治理:泛半导体工艺废气处理龙头,虽未直接确认合作,但新凯来设备量产可能带动其系统需求,2024年半导体业务订单同比+109% 。
五、技术突破与产业链意义
新凯来的崛起标志着中国半导体设备从“单点突破”转向“系统突围”:
- 技术路线:通过SADP、ALD等创新技术绕开ASML专利壁垒,28nm光刻机已完成研发,5nm DUA技术进入试产阶段。
- 产业链闭环:核心零部件国产化率达100%,带动新莱应材、至纯科技等企业突破国际垄断,形成“设备-材料-工艺”协同生态。
- 市场验证:2025年9月CSEAC展会后新增订单超5亿元,总订单突破17亿元,客户覆盖中芯国际、长江存储等头部晶圆厂。
风险提示
1. 技术验证风险:部分设备(如EUV光刻机)仍处研发阶段,量产进度可能不及预期。
2. 订单波动风险:半导体行业周期性波动可能影响新凯来设备采购节奏。
3. 国际竞争压力:ASML、应用材料等巨头加速技术迭代,国产替代需持续突破。
建议重点关注新莱应材、至纯科技、奥普光电、江丰电子、南大光电等已通过技术验证或订单明确的标的,同时跟踪茂莱光学、冠石科技等技术协同方的研发进展。