再度突破！苏大维格子公司最新掩模缺陷检测设备通过商用验收

近日，$苏大维格(SZ300331)$ 苏大维格（300331.SZ）子公司维普半导体称，公司新一代STORM5000掩模缺陷检测设备顺利通过国内某头部客户商用验收，同时下一台STORM5000设备目前已完成出厂前测试，将于本月底前交付国内另一关键客户。

维普半导体是国内极少数在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，其技术、产品和核心算法系正向自研开发，拥有自主知识产权，主要核心零部件实现了国产化和自主可控。其产品已进入国内头部晶圆厂和国内外头部掩膜版厂商的量产线，用于替代美国KLA及日本Lasertec产品。

STORM5000是维普半导体推出的第4代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM3000的技术积累及成功经验，经过近3年的迭代研发，STORM5000在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造。支持PSM、Binary掩模检测，适配ArF与Kr