比较研究 掘金全球射频电源系统五大上市公司
$恒运昌(SH688785)$ $英杰电气(SZ300820)$ $北方华创(SZ002371)$
一、一张表读懂五大上市公司的区别
二、等离子体射频电源系统市场容量
1、全球市场
2024 年全球等离子体射频电源系统：53.4 亿美元
2025–2029 年 CAGR：10.6%
2、中国大陆市场
2024 年：65.6 亿元
2025–2029 年 CAGR：15.6%，2029 年预计133.1 亿元
全口径（含泛半导体）：2024 年120.4 亿元，近 5 年 CAGR9.9%
3、国产化率与空间
2024 年半导体领域国产化率：<12%
海外巨头合计占比：≈89%
国产替代空间：超 50 亿元 / 年（2024），长期千亿级
三、竞争对手分析
1、海外巨头（绝对主导）
MKS（美）、AE（美）：全球双寡头，合占中国大陆≈80%+
其他：霍廷格（德）、DAIHEN（日）等
技术：垄断7nm 及以下先进制程
2、MKS Instruments（MKSI，纳斯达克，1971 年上市）
总营收：≈48 亿美元；射频电源：≈12 亿美元（半导体）
毛利率：≈50%；净利率：≈18%
市占：全球≈30%（半导体 + 光伏）
制程：全制程（3nm 以下）
估值：市值≈180 亿美元；PS≈3.75
3、Advanced Energy（AEIS，纳斯达克，1995 年上市）
总营收：≈42 亿美元；射频电源：≈14 亿美元（半导体）
毛利率：≈52%；净利率：≈20%
市占：全球≈35%（半导体第一）
制程：全制程（3nm 以下）
估值：市值≈160 亿美元；PS≈3.8
4、DAIHEN（6622，东证 Prime，1953-11-04 上市）
总营收：1,885 亿日元（≈92 亿人民币）；射频电源：≈300 亿日元（≈14.6 亿人民币）
毛利率：≈32%；净利率：5.9%
市占：全球≈10%
客户：东京电子、Screen、台积电、三星
制程：成熟 + 先进（7nm+）
估值：市值≈3,500 亿日元（≈170 亿人民币）；PS≈1.8
5、德国霍廷格（Huettinger / TRUMPF Huettinger）
非上市公司
全称：TRUMPF Huettinger GmbH + Co. KG
归属：德国通快集团（TRUMPF Group） 全资子公司
通快集团：家族私有企业，未上市
2024 年营收（估算 / 集团口径）
无单独公开财报；通快集团 2023/24 财年营收约 45 亿欧元
霍廷格主营：等离子体射频电源、感应加热、激光电源（半导体 / 显示 / 光伏）
规模：全球细分领域第二梯队，营收约3–5 亿欧元 / 年
6、英杰电气（300820，创业板，2020-02-13 上市）
总营收：17.80 亿元；半导体射频电源：3.51 亿元（占比 19.7%）
毛利率：半导体业务 53.98%；整体≈28%
市占：国产第二（全球≈3%）
制程：覆盖 5nm 刻蚀 / PECVD
估值：市值≈120 亿元；PS≈6.7
7、华丞电子：北方华创子公司
8、神州半导体（非上市）
营收：射频电源≈2–4 亿元（估算）
毛利率：≈40–45%（行业水平）
客户：中微、北方华创、拓荆、微导
制程：28nm 为主，7–14nm 在验证
估值：未公开（一级市场≈30–50 亿元）
四、恒运昌的核心投资逻辑的分析
1. 赛道卡位：半导体设备 “心脏”，国产替代核心标的
赛道价值：等离子体射频电源是刻蚀、薄膜沉积（PECVD/ALD）等核心设备的 “心脏”，直接决定工艺精度与良率，是半导体制造的关键卡脖子环节。
国产替代空间：全球市场长期被美国、日本巨头垄断，国产化率极低；恒运昌是国内唯一实现大规模量产的射频电源厂商，2024 年在国内半导体射频电源国产厂商中市占率第一。
技术壁垒：融合电力电子、等离子体物理、精密控制等多学科，研发周期长、验证门槛高；公司第三代 Aspen 系列可支撑7–14nm制程，达到国际先进水平。
2. 客户与产业链：深度绑定头部，形成 “设备厂–零部件厂–晶圆厂” 闭环
核心客户：已进入拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商供应链，是其核心供应商。
下游验证：产品通过长江存储、中芯国际等晶圆厂验证，长江存储通过基金参与战略配售，形成资本 + 产业深度绑定。
订单与产品：截至 2025 年 6 月，与头部客户实现百万级收入自研产品 38 款、千万级 24 款，客户黏性极强。
3. 业绩与增长：高景气、高增速、高毛利
业绩爆发：2022–2024 年营收从1.58 亿元→5.41 亿元（CAGR≈80%），扣非净利润从0.20 亿元→1.29 亿元，盈利能力持续提升。
盈利质量：毛利率长期维持在45%+，净利率20%+，显著高于一般零部件企业。
募投扩产：IPO 募资投向沈阳产业化基地、智能化生产基地、研发中心等，解决产能瓶颈，支撑未来 3–5 年增长。
4. 资本与政策：产业资本背书 + 国家战略加持
战略配售：IPO 战略配售方包括长江存储（长存鸿图）、拓荆科技、中微公司、国投创业、电科投资等，形成 “上游–下游–产业资本” 生态闭环。
政策红利：半导体设备及核心零部件是国家科技自立自强战略重点，政策、资金、人才全方位支持。
5. 成长路径：平台化 + 多领域拓展
内生 + 外延：内生研发丰富低频大功率、PVD 直流溅射电源、远程等离子体源等；外延并购打造等离子体工艺核心零部件平台。
跨领域应用：从半导体向光伏、显示面板、精密光学等泛半导体领域拓展，打开第二增长曲线。
6、恒运昌
总营收：5.41 亿元；射频电源收入：5.2 亿元（占比 96%）
毛利率：48.51%；净利率：26.17%
2025 年产能10483台/年，利用率106.35%
市占：中国大陆国产第一 , 全球排名第四≈5%
客户：上市公司拓荆科技（销售占比63%且持股2.97%）、上市公司中微公司、上市公司北方华创、上市公司微导纳米、上市公司盛美上海、上市公司中芯国际
制程：Bestda（28nm）、Aspen（7–14nm）
五、恒运昌的估值
1、预估2027年恒运昌营业收入10亿，给予市销率50倍估值，目标市值500亿以上。