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$晶瑞电材(SZ300655)$ 晶瑞电材的光刻胶产品已实现对中芯国际的批量供应,具体进展如下:百度AI:

1. i线光刻胶批量供货

子公司瑞红苏州的i线光刻胶已稳定向中芯国际、合肥长鑫、华虹半导体等国内头部半导体厂商批量供货,该产品于2018年通过国家02专项验收后实现规模化应用。2024年数据显示,i线光刻胶销量持续增长,成为公司光刻胶业务的重要收入来源

2. KrF光刻胶量产供应

多款KrF光刻胶已量产并供应中芯国际等存储芯片客户,良率达98%,2024年KrF产品出货量显著提升,部分型号进入放量阶段

3. ArF光刻胶验证进展

ArF光刻胶已完成28nm工艺节点验证,并实现小批量供货,目前部分样品处于客户送样验证阶段,从验证到批量供货通常需2-3年,公司预计未来将逐步扩大供应规模

4. 技术布局与产能

公司拥有紫外宽谱至ArF全系列光刻胶产品矩阵,是国内少数具备高端光刻胶研发能力的企业之一。通过ASML尼康光刻机平台的支持,研发效率持续提升

综上,晶瑞电材中芯国际的供应链中已覆盖中低端(i线、KrF)光刻胶,并逐步向高端(ArF)领域突破