
昨日有幸与半导体设备巨擘拉姆研究(Lam Research)的创始人林祥坚博士(Dr. David Lam)交谈,收获的不仅是行业顶级认知,更是一份源自心灵深处的震撼与鼓舞。
林博士,这位半导体蚀刻领域的奠基人,其名字早已镌刻在行业发展的丰碑之上。而他创立公司的故事,本身就是一段硅谷传奇。
回到上世纪70年代末, 随着芯片上的电路越做越精细,传统的“湿法蚀刻”(用化学液体浸泡腐蚀)工艺遇到了巨大的物理瓶颈。液体会向四面八方渗透,导致蚀刻出的线条侧壁粗糙、精度失控,严重阻碍了芯片性能的提升。整个行业都在迫切寻找一种更精准、更可控的替代方案。
当时,等离子体蚀刻(或称“干法蚀刻”)技术虽然存在,但极不稳定,被许多人视为难以驾驭的“黑匣子”或“一门玄学”。在德州仪器、惠普等公司积累了丰富经验的林祥坚博士敏锐地洞察到,谁能将这门“玄学”变成一门可靠、稳定的自动化“科学”,谁就将