与半导体传奇林祥坚（David Lam）一席谈：近鲐背之年，赤子之心依旧
昨日有幸与半导体设备巨擘拉姆研究（Lam Research）的创始人林祥坚博士（Dr. David Lam）交谈，收获的不仅是行业顶级认知，更是一份源自心灵深处的震撼与鼓舞。
林博士，这位半导体蚀刻领域的奠基人，其名字早已镌刻在行业发展的丰碑之上。而他创立公司的故事，本身就是一段硅谷传奇。
回到上世纪70年代末， 随着芯片上的电路越做越精细，传统的“湿法蚀刻”（用化学液体浸泡腐蚀）工艺遇到了巨大的物理瓶颈。液体会向四面八方渗透，导致蚀刻出的线条侧壁粗糙、精度失控，严重阻碍了芯片性能的提升。整个行业都在迫切寻找一种更精准、更可控的替代方案。
当时，等离子体蚀刻（或称“干法蚀刻”）技术虽然存在，但极不稳定，被许多人视为难以驾驭的“黑匣子”或“一门玄学”。在德州仪器、惠普等公司积累了丰富经验的林祥坚博士敏锐地洞察到，谁能将这门“玄学”变成一门可靠、稳定的自动化“科学”，谁就将掌握半导体的未来。
怀揣着这个大胆的设想，他毅然辞去安稳的工作，于1980年创立了拉姆研究。他并非仅仅满足于实验室的成功，而是立志要打造出第一台能让工厂大规模量产、稳定可靠的自动化等离子体蚀刻机。经过无数次的试验与改进，革命性的AutoEtch系列设备横空出世。 它如同一位技艺精湛的外科医生，用等离子体“手术刀”，在硅片上精准地刻画出微观世界的“沟壑”，其精度和一致性远超传统方法。这不仅是一次技术上的突破，更是一套完整的商业解决方案，它将复杂难控的蚀刻工艺，变成了一个可以一键启动的工业标准流程。
正是这一创举，一举奠定了拉姆研究和干法蚀刻在半导体制造中不可动摇的“江湖地位”。
而更令人津津乐道的，或许是他作为行业领路人的卓越贡献——他曾是中微公司创始人尹志尧博士的“老领导”，尹老师1986年加入Lam做高级工程师，后来去$应用材料公司(AMAT)$ 工作，然后回国创建了$中微公司(SH688012)$ 服务台积电，也曾是英特尔CEO陈立武（Lip-Bu Tan）先生的Mentor。他的智慧与经验，如同一盏明灯，照亮了无数后来者的前行之路。
然而，真正触动我的，是褪去所有光环后，这位年近九旬的长者所展现出的纯粹与热忱。岁月并未磨去他的锋芒，反而让他的目光愈发清澈、坚定。当他谈及仍在孜孜不倦地研究如何创造更先进的设备、突破工艺瓶颈时，那份对事业发自肺腑的热爱，以及作为一名科学家与生俱来的执着与淳朴，瞬间满溢而出。
从他身上，我看到了一种超越时间的力量。那是一种对未知世界永不枯竭的好奇心，一种对技术极限不懈追求的少年意气。这番对话，让我深刻体会到，伟大的事业始于伟大的梦想，而支撑梦想的，正是这样一颗永不老去的赤子之心
