$昊华科技(SH600378)$
光刻用电子气体✅ 涉及昊华科技的三氟化氮（NF₃）年产能达5000吨，位居全国前三，主要用于半导体和显示面板制造的清洗、刻蚀等工艺，是光刻工艺中不可或缺的材料之一[^0^]。
光刻用电子混配气✅ 正在研制公司正在开发用于光刻工艺的电子混配气体，进一步拓展其在光刻环节的材料配套能力[^2^]。
冷却液等配套材料✅ 涉及昊华科技还涉足光刻机等设备所需的芯片级冷却液，已通过三星、台积电等大厂认证
结论：昊华科技不制造光刻机，但其在光刻工艺用电子气体及配套材料方面具备较强的国产替代能力，并正在向更高端的光刻用气体产品延伸，属于光刻产业链上游的重要材料供应商。