商务部:对原产于日本的进口二氯二氢硅发起反倾销立案调查
商务部公告2026年第2号公布,对原产于日本的进口二氯二氢硅发起反倾销立案调查。申请人唐山三孚电子材料有限公司请求进行反倾销调查,商务部依据<<中华人民共和国反倾销条例>>进行了审查。根据审查结果,决定自2026年1月7日起进行反倾销立案调查,调查期为2024年7月1日至2025年6月30日。被调查产品为原产于日本的进口二氯二氢硅,主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积。利害关系方需在20天内登记参加调查,并提供相关材料。
特种气体“对日反制”,嗅觉要灵敏,脑子要清醒
二氯二氢硅(DCS,SiH₂Cl₂)是一种无色、易燃、有毒的气体,在半导体和光伏产业中扮演关键角色,具体用途和国内主要生产厂家如下:
一、核心用途
1. 芯片制造
• 薄膜沉积:通过 CVD 或外延工艺生长硅外延膜、SiO₂、Si₃N₄、SiC 及多晶硅膜,是 12 英寸硅外延片的首选硅源,反应温度比三氯氢硅更低(1050–1150 °C),生长速率快、结晶质量高 。
• 逻辑/存储/模拟芯片:用于 MPU、DRAM、Flash、PMIC 等各类器件的应变硅外延与绝缘/钝化层制备 。
2. 光伏与硅基材料
• 制备多晶硅、氮化硅减反射膜,提升电池效率 。
• 合成硅基前驱体、聚硅氮烷等先进陶瓷材料 。
3. 有机硅与化工
• 作为硅烷化试剂,生产聚硅醚、硅酮、含 Si–H 键的有机硅单体;亦用于耐高温润滑剂、表面处理剂和阻燃剂原料 。
二、国内主要生产厂家(含现有及在建产能)
| 中国中治 | 河南 | 500 t/a 在建 | 国内最早实现电子级 DCS 量产,客户覆盖主流晶圆厂 |
| 三孚股份(603938) | 河北 | 500 t/a 已投产 | 产品已批量进入逻辑、存储芯片及硅基前驱体供应链 |
| 和远气体 | 湖北 | 300 t/a | 电子特气细分领域供应商 |
| 金宏气体 | 江苏 | 200 t/a | 科创板上市气体公司 |
(全球 80% 市场仍由日本信越、SK Materials 等海外巨头掌控,进口价约 30–40 万元/吨 。)
三、安全与法规提示
DCS 遇水剧烈水解生成 HCl,具有易燃、爆炸、腐蚀和急性毒性风险,储存运输需严格防潮、惰性气体保护 。2026-01-07 商务部已启动对原产于日本进口 DCS 的反倾销调查,未来国产化率有望进一步提升 。
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