$日联科技(SH688531)$ 一、开管放射源（UNOS 160kV）归属的国家级课题（核心）

1. 国家02专项（极大规模集成电路制造装备及成套工艺）

• 课题名称：集成电路封装检测设备研发与产业化（2014–2016）

• 核心定位：开管源的直接技术母体（半导体前道/先进封装检测专项）

• 与开管源直接相关的技术目标

◦ 研发≤5μm微焦点X射线源，支撑晶圆/先进封装高精度检测

◦ 攻克130–160kV高功率、高穿透、纳米聚焦核心技术

◦ 面向晶圆凸块、TSV、2.5D/3D堆叠、MEMS前道/中道检测

• 验收成果：形成AX9500/AX9600系列，搭载自研开管源，实现国产替代

2. 国家863计划（先进制造/电子信息领域）

• 课题名称：微焦点X射线源及智能检测装备关键技术研究（2011–2013）

• 核心定位：开管源的底层技术底座（闭管→开管的技术预研）

• 与开管源直接相关的技术突破

◦ 攻克封闭式热阴极微焦点源（国内首款），掌握≤5μm焦点、≥5000小时寿命

◦ 突破电子光学聚焦、真空腔体、高压绝缘、热管理四大核心技术

◦ 为开管源可更换阴阳极、外接真空、纳米级聚焦奠定工艺基础

3. 科技部国家重大科学仪器设备开发专项（补充）

• 课题名称：高性能微焦点X射线检测仪器研制与应用（2017–2020）

• 核心定位：开管源产业化与性能升级

• 成果：160kV高功率开管源、3D/CT在线检测、AI缺陷识别，支撑前道晶圆全检

二、开管放射源（UNOS 160kV）核心技术指标（与课题指标对应）

• 管电压：160kV（02专项目标：≥130kV高穿透）

• 焦点尺寸：0.8μm（纳焦点）（02专项验收：≤5μm；开管迭代至亚微米）

• 放大倍率：2000×（02专项：≥1500×）

• 检测对象：晶圆前道（颗粒、划痕）、凸块、TSV、3D堆叠、MEMS（02专项：先进封装/前道）

• 真空方式：开放式（外接真空泵，阴阳极可更换）（863闭管→02专项开管升级）

• 稳定性：恒流/高压电源自研，真空实时监测（02专项：连续稳定工作）

三、核心专利与课题对应（开管源关键专利）

1. 一种纳米级开放式X射线源装置（ZL20211XXXXXX）

◦ 对应：02专项“高分辨率开管源结构设计”

2. 高功率微焦点X射线源电子光学系统（ZL20201XXXXXX）

◦ 对应：863计划“三级电子光学聚焦技术”

3. 160kV高压发生器与真空控制系统（ZL20191XXXXXX）

◦ 对应：02专项“高稳定电源与真空监测”

4. 半导体晶圆X射线智能检测方法（ZL20221XXXXXX）

◦ 对应：重大仪器专项“AI缺陷识别与前道全检”

四、一句话总结

日联科技UNOS 160kV开管放射源（半导体前道专用），是国家02专项（直接母体）+ 863计划（底层底座）+ 重大仪器专项（产业化升级） 三大国家级课题的技术集大成与迭代产物，2025年10月实现量产，填补国产纳米级开管源空白