利和兴(301013)作为新凯来的核心供应商,双方合作主要围绕半导体设备的精密零部件供应与测试服务展开,具体涉及以下领域:
刻蚀设备:利和兴参与新凯来“武夷山”系列刻蚀设备的组装与测试环节,该设备用于芯片制造中的图形刻蚀工艺。薄膜沉积设备:包括物理气相沉积(PVD)和原子层沉积(ALD)设备,利和兴为“阿里山”“长白山”等系列提供精密结构件及检测服务。量检测设备:合作覆盖缺陷检测(如“岳麓山”系列)和光学量测设备(如“天门山”系列)的关键零部件
。
利和兴不仅提供零部件,还深度参与设备测试平台开发。例如:
为薄膜沉积设备定制高纯度气体输送模组,适配7nm/5nm先进制程。开发专用老化测试平台,解决高功率设备的散热验证难题
。
根据利和兴高管披露:
新凯来百亿订单中,精密零部件约占设备价值的30%,利和兴有望获得其中一半份额(约7-8亿元