全国首台国产商业电子束光刻机突破性问世，利好哪些A股股票？

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试阶段，其精度达到0.6nm，线宽8nm，比肩国际主流设备，标志着我国在量子芯片和高端半导体制造领域取得重大突破。这一进展将推动国产半导体设备产业链加速发展，以下A股上市公司有望直接受益：

一、核心部件与系统供应商

博众精工（688097）

提供电子束光刻机的关键部件，包括热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和恒流源，这些产品已适配透射电镜、扫描电镜及电子束光刻机等领域。

受益逻辑：国产电子源替代需求提升，技术壁垒高。

东方中科（002819）

官网实锤供应电子束偏转器，通过电磁场控制电子束精准偏转，是光刻机实现纳米级雕刻的核心组件。

其他概念：同时涉及脑机接口测试、华为海思合作，具备多领域协同潜力。

腾景科技（688195）

为光刻机光学系统定制“合分束器”，适配电子束光刻机的光路设计，曾为“九章二号”量子计算机提供高精度光学元件。

叠加概念：CPO（共