全国首台国产商业电子束光刻机突破性问世，利好哪些A股股票？
全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试阶段，其精度达到0.6nm，线宽8nm，比肩国际主流设备，标志着我国在量子芯片和高端半导体制造领域取得重大突破。这一进展将推动国产半导体设备产业链加速发展，以下A股上市公司有望直接受益：
一、核心部件与系统供应商
博众精工（688097）
提供电子束光刻机的关键部件，包括热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和恒流源，这些产品已适配透射电镜、扫描电镜及电子束光刻机等领域。
受益逻辑：国产电子源替代需求提升，技术壁垒高。
东方中科（002819）
官网实锤供应电子束偏转器，通过电磁场控制电子束精准偏转，是光刻机实现纳米级雕刻的核心组件。
其他概念：同时涉及脑机接口测试、华为海思合作，具备多领域协同潜力。
腾景科技（688195）
为光刻机光学系统定制“合分束器”，适配电子束光刻机的光路设计，曾为“九章二号”量子计算机提供高精度光学元件。
叠加概念：CPO（共封装光学）技术供应商，受益于光通信与算力需求增长。
二、掩膜版与工艺配套企业
路维光电（688401）
在90nm/40nm制程中需使用电子束光刻机搭配干法制程技术，已开展电子束光刻和干法刻蚀研究，突破掩膜版技术瓶颈。
受益逻辑：高端掩膜版国产化加速，直接对接先进制程需求。
龙图光罩（待上市/关联公司）
IPO募资重点投向电子束光刻机等设备购置，推动90nm/65nm掩膜版技术突破，补强产业链短板。
市场反应：概念股已获资金关注，近期涨停。
三、检测与量测设备厂商
精测电子（300567）
电子束检测设备已取得国内7nm先进制程重复性订单，技术覆盖膜厚测量（OCD）和缺陷检测，成为中芯国际等大厂核心供应商。
竞争优势：打破KLA等国际巨头垄断，卡位国产替代关键环节。
四、特种气体与材料供应商
华特气体（688268）
国内光刻气体龙头，量产产品覆盖电子束光刻工艺所需的高纯特种气体。
专注光刻用特种气体研发，凯美特气因国产光刻机突破消息涨停。
行业逻辑：光刻气体是晶圆制造耗材，国产化率不足20%，替代空间巨大。
五、产业生态与间接受益标的
半导体设备ETF（如159582、159813）
覆盖中芯国际、北方华创、中微公司等设备龙头，指数单日涨幅超2.5%，反映市场对国产替代的乐观预期。
第三代半导体技术突破企业
如氮化镓/碳化硅衬底外延技术进展，与电子束光刻协同推动功率器件升级。
总结：投资逻辑与风险提示
核心机会：电子束光刻技术突破直接利好设备核心部件、掩膜版、检测设备及特种气体四类企业，技术壁垒高的公司（如博众精工、精测电子）更具长期价值。