
在半导体制造的庞大版图中,光刻胶无疑是那颗最为璀璨的明珠。作为决定芯片制造精度与良率的核心材料,光刻胶的重要性不言而喻,其技术门槛之高,宛如一座难以逾越的山峰。按照光源波长的不同,光刻胶可细分为 G 线、I 线、KRF、RF 乃至 EUV 等多个等级,每向更先进的制程迈进一小步,技术壁垒便以指数级的态势攀升。
当前,全球半导体产业竞争白热化,日本在高端光刻胶领域近乎垄断,占据了 90% 以上的市场份额。而我国光刻胶产业正处于从低端为主向高端突破的关键转型期,一批核心企业正奋力前行,成为产业发展的中流砥柱。
南大光电堪称 ARF 光刻胶领域的国产领军者。它是国内唯一实现 28nm 制程 RF 光刻胶量产的企业,产品良率高达 99.7%,这一数据着实令人瞩目。其产品已成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的严苛验证。位于宁波的产线,500 吨产能已顺利完成爬坡,