国产半导体检测新突破！谱育科技发布“中国芯之眼”

近日，聚光科技$聚光科技(SZ300203)$ 旗下自主孵化子公司杭州谱育科技发展有限公司（简称：谱育科技）举办“芯之眼，中国芯”新品发布会，正式推出EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS），该产品的推出实现了半导体超痕量检测领域的国产新突破。#雪球星计划# #仪器仪表##半导体检测设备#

01 销量领先，创新不断

据了解，谱育科技7000系列ICP-MS市场保有超千套，年销量位居国内市场全球品牌第四、国产品牌第一（据公开中标信息统计），产品应用场景丰富、用户覆盖广泛，凭借稳定的性能表现，该系列产品荣获仪器信息网2025年“国产好仪器”称号及2024年“用户关注优选奖”，得到行业及用户的广泛认可。

EXPEC 7350系列自2021年发布以来，历经多轮技术迭代，作为本次发布会的重磅产品，全新一代EXPEC 7350S Plus，实现从硬件制造到软件源码的100%完全国产化，成为半导体及高端制造领域国产化替代的标杆之作。

据了解，全新一代EXPEC 7350S Plus有四大创新点：

1、全自主可控：核心部件及软件100%自主研制，摆脱对国外供应链依赖，全方位保障物料供应安全与数据隐私。

2、卓越分析能力：搭载自主研发的多次偏转离子传输系统与双提取透镜，实现ppq级（10⁻¹⁵）超低检出限，精准满足12英寸晶圆最先进制程检测要求。

3、高效自动化：支持与国内外全自动VPD一体化联用，提供定制化自动化检测方案，深度适配国内高端制造产线。

4、敏捷定制研发：依托自主研发实力，快速响应本土用户需求，提供个性化合作方案，实现国产化替代深度适配。

02 各领域专家一致首肯

在新品发布会中，中国科学院上海硅酸盐研究所研究员汪正、上海集成电路材料研究院有限公司检测分析事业部主任李春华、中国地质大学（武汉）分析测试中心副主任郭伟三位专家出席，共同见证谱育科技新品发布。

谱育科技半导体事业部总监汤宏厚表示，当前精准检测能力已从技术需求，升级为支撑我国半导体产业自主可控的战略刚需，这双洞察极限的“眼睛”，必须牢牢掌握在我们自己手中。半导体检测装备的自主化对于产业高质量发展具有重要意义，本次发布的EXPEC 7350S Plus系列ICP-MS/MS，正是为芯片制造量身打造的“中国芯之眼”。

汪正研究员表示，在半导体制造迈向埃米时代的今天，ICP-MS正是守护材料纯度生命线的“终极裁判”。这款新品的诞生，为国产半导体产业擦亮了一双更为锐利的“眼睛”。他祝愿EXPEC 7350S Plus系列ICP-MS/MS在客户端落地见效、建功立业，为我国高端科学仪器事业发展贡献更大力量。

谱育科技吴智威博士介绍道，在国产替代需求日益迫切的背景下，谱育科技推出升级款串联质谱EXPEC 7350S Plus系列，在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升。针对典型半导体领域样品（湿化学品，晶圆杂质金属，硅烷，电子特气等），仪器检出能力稳定在ppq-sub ppt水平，在覆盖半导体全场景超痕量检测需求的同时，显著提升的灵敏度水平将有力支持半导体量测端的数据质量管理，为主流&先进制程提供更严格的工艺规格与材料认证。

作为国内高端检测装备自主化的重要推动者，谱育科技凭借深厚的技术积累与持续的产品迭代，在半导体检测领域逐步打破国外技术垄断，推动高端检测装备的国产化应用进程。不仅如此，其三大综合解决方案：超痕量金属离子检测解决方案、AMC微污染气体监测解决方案和半导体特气探测解决方案，覆盖从材料到环境、从实验室到产线的全流程检测需求，助力相关企业实现可控的效率管理与产能提升。

03 全系列覆盖半导体检测场景

从实际应用来看，我们了解到，谱育科技相关检测装备已在多个半导体细分场景实现规模化应用。

EXPEC 7350系列产品在半导体检测领域已构建起覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体相/表面金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析整体解决方案体系，在国内多家大型半导体企业落地应用。某宽禁带半导体材料企业将其用于衬底抛光片、外延片及高纯试剂中痕量金属检测，经过半年实际应用，设备表现稳定，用户反馈其检出限、稳定性、氧化物产率等关键指标已全面超越国际同类产品应用水平，实现高端材料检测的自主可控。

在先进制程及大尺寸晶圆制造领域，EXPEC 7350系列可有效覆盖G3~G5级化学品的质控要求，已在国内先进制程芯片制造企业和8+12英寸集成电路制造企业实现G5级硝酸、氢氟酸、双氧水等试剂的过程品控，某12寸硅片制造企业采用VPD与7350S组合方案，实现了晶圆表面金属离子沾污的自动化监测。

特气泄漏探测与AMC微污染监测相关产品同样获得了行业应用认可。

据介绍，GDM-2100 Series半导体气体探测器可精准侦测40余种特气（硅烷、磷烷、三氟化氮等），在某12英寸集成电路生产线建设项目中，30多种该系列气体探测器构建起有毒有害气体实时在线监测体系，通过多层级报警联动提升生产线本质安全水平。该项目也收到了相关气体安全负责人的积极反馈。

AMC 1000 微污染气体监测系统可实现洁净室酸、碱、VOC等ppb级连续监测，采样范围达200米，检出限低至0.1ppb，国内领先12英寸晶圆厂采用该系统后，可实时反映污染物浓度变化，为洁净室环境管理和生产优化提供精准数据支持，有效提升产品良率、降低设备损耗。相关项目工厂环境工程师评价道，AMC 1000系统让洁净室污染从“不可见”变为“实时可见”，生产优化有了数据依据。

展望未来，谱育科技表示，将持续加大研发投入，加快产品与技术升级迭代，进一步增强在半导体等高端制造领域的市场竞争力，与产业链上下游伙伴协同发力，助力我国半导体产业高质量发展，筑牢“中国芯”产业基石。

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