
国内多个光机所都在布局光刻机。整机如上海微电子、长光所、成都所。阿斯麦预测,到2031年,先进逻辑和先进ERAM对EUV或DUV的曝光次数将大幅增加,进一步增加光刻机用量与资本开支。
结合截至2026年初的公开资料、行业趋势与技术路径,以下是对所提及国内光刻机产业链相关上市公司的基本信息核对、业务拓展介绍及潜力分析。光学部件价值量较高。以EUV为例,整个物镜系统可能有三四百万元,部分光学系统一两百万元,机械部件价值量也不低。从收入、利润与估值角度逐渐扎实,现金流稳定且投入能快速转化为中路的机械部件公司可能在估值上有优势。我们将从技术能力、产品定位、市场空间、估值逻辑与风险因素等维度进行评估,并给出重点关注标的建议。
在当前地缘政治背景下(美荷对华高端光刻设备出口管制),中国半导体产业正加速推进DUV光刻机国产化,并探索EUV替代路径(如多重曝光、先进封装、Chiplet等)。虽然短期内难以复制ASML EUV整机,但光学系统、精密机械、光源、检测、真空镀膜等子系统环节已进入实质性突破阶段。
关键判断:
光刻机整机(如上海微电子)是“皇冠”,但短期难量产;
子系统供应商(尤其是光学+精密机械)是当前最现实、可验证、有订单支撑的受益环节;
具备高技术壁垒、客户验证进展、现金流稳定、研发投入转化效率高的企业更具长期潜力。
主营业务:全球领先的光学模组厂商,手机镜头、车载镜头龙头。
半导体关联:通过子公司舜宇智领/舜宇精工,布局半导体检测光学系统,包括DUV/UV波段的光学检测模块,用于晶圆缺陷检测、套刻对准等。
优势: 光学设计与制造能力全球一流; 已进入中芯国际、华虹等供应链; 半导体相关收入占比虽小(<5%),但增速快(年增50%+)。
潜力点:若能切入光刻机物镜或照明系统,价值量将跃升。
风险:港股流动性、主业受消费电子周期影响。
✅ 评级:高潜力(需跟踪其半导体光学订单落地)
主营业务:全球非线性光学晶体龙头,LBO、BBO晶体市占率超70%。
光刻关联:为EUV光源中的激光系统(如Cymer/Trumpf的CO₂激光器)提供关键频率转换晶体。虽不直接用于DUV,但在下一代高功率激光源中不可或缺。
优势: 技术垄断性强,客户包括Coherent、Trumpf等; 毛利率超50%,现金流极佳; 受益于全球EUV扩产(即使中国不能买整机,海外仍在扩)。
潜力点:若中国自研EUV光源路线采用固态激光+频率转换,福晶将是核心受益者。
✅ 评级:确定性高 + 垄断地位 = 核心标的
主营业务:激光光学元件,包括透镜、窗口片、匀化器等。
光刻布局:与浙江大学合作研发DUV光刻照明系统关键部件,包括复眼透镜、光场匀化器等。
优势: 技术团队来自中科院/浙大,有学术背书; 已送样至国内光刻整机厂(如上海微电子); 市值小(约50亿),弹性大。
风险:尚未形成大规模收入,验证周期长。
✅ 评级:高弹性成长股(适合风险偏好型投资者)
主营业务:高精密光学元器件,包括光栅、滤光片、偏振元件。
光刻关联:其衍射光栅可用于EUV掩模检测、DUV干涉测量系统;也供应光刻胶检测设备光学模块。
优势: 技术门槛高,国内少有竞争对手; 已进入ASML二级供应商体系(间接); 研发投入占比超15%。
潜力点:若国产EUV掩模检测设备放量,光栅需求将爆发。
✅ 评级:技术稀缺性突出,中长期看好
主营业务:长春光机所旗下,主营光电测控仪器、光栅编码器。
光刻布局:为长春光机所(长光所)EUV/DUV整机项目提供镜片加工、精密装调服务;参与国家重大专项。
优势: 背靠中科院体系,资源协同强; 已公告扩产“高端光学镜片”产能; 军工+半导体双轮驱动。
风险:市场化程度较低,利润波动大。
✅ 评级:国家队核心配套,政策支持明确
注:有研新材是上市公司,其子公司有研亿金/有研稀土涉及靶材、光学材料。
LDI光刻机(激光直写)领域已有出货,用于PCB、MEMS制造。
虽非前道IC光刻,但技术可迁移,且已实现商业化。
⚠️ 注意:有研光学未独立上市,投资需通过母公司,弹性有限。
主营业务:军用/民用光学镜头,安防监控为主。
光刻关联:具备紫外成像镜头设计能力,曾参与光刻检测设备镜头开发。
现状:技术储备存在,但未见大规模光刻订单;主业承压。
❌ 评级:概念大于实质,暂不推荐
炬光科技: 全球少数能量产半导体光刻用光场匀化器的企业; 已进入ASML、上海微电子供应链; DUV照明系统核心部件,单台价值数十万元。
✅评级:★★★★★(光刻光学核心供应商)

排名 公司 逻辑 风险
1 福晶科技 全球垄断、EUV光源刚需、现金流好 技术路线变更风险(低)
2 炬光科技 光场匀化器核心供应商,已进ASML链 估值较高
3 腾景科技 光栅稀缺、掩模检测需求上升 规模小、订单波动
4 波长光电 浙大合作、DUV照明部件、高弹性 验证周期长
5 奥普光电 国家队背景、镜片加工扩产 市场化效率待观察
6 新莱应材 真空/气体部件已量产 毛利率偏低
短期关注:福晶科技、炬光科技、新莱应材 —— 已有订单、技术达标、财务健康。
中期布局:腾景科技、波长光电 —— 技术突破期,弹性大但需耐心。
长期押注:若上海微电子28nm DUV整机量产(预计2026–2027),其一级供应商(如上述光学/机械公司)将迎戴维斯双击。
回避:仅有“光刻概念”但无实质技术或订单的公司(如部分镜头厂)。
最后提醒:光刻机产业链投资需紧盯技术验证节点(如整机厂招标、子系统送样通过、专利披露等),避免纯主题炒作。