半导体验证四重门:PRS到量产全解析
光刻胶作为芯片制造的核心材料,需历经四道严苛验证关卡方能投入量产,其过程堪称半导体产业的"极限生存挑战"。
2016,当彤程新材老总,在会议中祈求中芯国际给予测试机遇时,那是大门才刚刚开启的时刻,值得铭记历史。
【基础工艺考核(PRS)】
光刻胶需通过模拟产线环境的基础性能测试,分辨率、粗糙度、灵敏度等指标直接决定去留。某美资厂因焊锡含铅超标导致良率暴跌2.15%的案例,印证了验证环节的容错率近乎为零。
【小批量试产(STR)】
进入实战阶段,光刻胶需与现有设备深度磨合。某国产KrF光刻胶验证中,通过加装实时监控系统解决烘烤模块温度异常,将批次稳定性提升至99.3%,展现出工艺适配的重要性。
【中批量试产(MSTR)】
连续数百片晶圆生产考验下,某团队通过引入自动配液系统,将ArF光刻胶图形边缘粗糙度从8.2nm优化至5.1nm。此阶段可能持续数月,任何批次波动都将导致前功尽弃。
【量产准入(RELEASE)】
即便通过前三关,仍需接受长期稳定性追踪。某企业为获准入,主动开放23道质量门禁数据,最终实现从原材料溯源到成品出库的全流程管控。
验证周期长达两年的根源在于芯片制造的容错成本:单片晶圆价值数万美元,金属离子超标0.01ppm即可造成千万美元损失。某国产企业为通过28nm产线验证,累计消耗3.2吨试验胶品,相当于三年研发用量。
当前全球高端光刻胶市场由日企主导,但国产突破已现曙光:彤程新材KRF高端树脂专线贯通量产,南大光电ArF光刻胶通过中芯国际14nm验证。国家大基金三期注资超300亿元,财政部实施增值税即征即退50%政策,形成产学研联动突破态势。
这场跨越实验室与产线的验证马拉松,折射出半导体产业对精密制造的极致追求。
唯有以敬畏之心打磨每个工艺细节,方能在全球科技竞速中占据一席之地。
2025年关将近,半导体贸易战再次上演,加速国产势在必行。加油
同时,公司传统优势产品也在持续突破,KrF光刻胶同比增长近50%;ICA光刻胶保持167%的高速增长;G/I线光刻胶稳健增长26%。
2025年上半年,公司在半导体光刻胶领域推进的研发项目近50项,其中近半数为重点项目。
I线化学放大厚膜胶,在多家12寸客户实现稳定快速的应用扩展,销量持续攀升。40-80um超厚膜负性抗电镀光刻胶开发测试进展顺利,成功通过国内头部封装厂的验证。
全链路贯通——公司以高分辨I线光刻胶项目开发为载体,成功打通内部全链路,构建起“高端分级酚醛树脂设计-树脂量产-光刻胶配方优化-光刻胶量产-客户验证通过”的完整全国产化路径。——此举将增利2-3成
公司在自产KrF树脂的开发及产能提升方面进展顺利,依托该自产树脂的光刻胶产品已成功实现量产并投入市场。
同时,超高分辨率KrF负性光刻胶项目开发取得突破性进展,目前已在重点存储客户处完成初步验证,结果符合预期。