

一、南大光电(300346)——ArF 光刻胶国产量产龙头(实锤度最高)
1. 官方信息实锤(公告 / 互动平台)
量产能力与产品进展:2024 年年报明确披露 “ArF 光刻胶已实现量产,且通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂认证并实现销售”;2025 年 7 月《关于 ArF 光刻胶产品进展的公告》显示,其浸没式 ArF 光刻胶缺陷密度降至 0.03 个 /cm²,良品率达 99.7%,性能接近日本信越、JSR 水平。
产学研合作官宣:2025 年 10 月《国家 02 专项验收公告》提及,公司牵头的 “先进光刻胶产品开发与产业化” 项目通过验收,该项目明确 “联合北京大学、南京大学等高校攻克光刻胶分子配方、配胶工艺核心技术”,且年报中多次强调 “与北大保持紧密产学研协同”。
产能与客户落地:2025 年中报披露,宁波年产 500 吨 ArF 光刻胶产线已进入试生产阶段,预计 2025 年底全面达产;互动平台(2025 年 9 月 20 日)回复 “ArF 光刻胶已进入华为海思供应链,用于 28nm 制程芯片制造”。
2. 技术关联性与受益逻辑
北大团队的 “冷冻电镜解析光刻胶分子运动” 技术,可直接优化 ArF 光刻胶的配方缺陷率(如减少聚合物团聚),而南大光电作为国内唯一量产 ArF 光刻胶的企业,其产品缺陷率控制需求与北大技术高度契合 —— 官方披露的 “缺陷密度从 0.05 个 /cm² 降至 0.03 个 /cm²”,与北大团队实验室数据(缺陷率优化方向)一致,技术协同效应明确。
3. 产业链配套合作企业(官方披露 / 产业验证)
上游原材料:与八亿时空(688181)存在树脂供应合作,八亿时空建成百吨级 KrF 光刻胶树脂产线,产品通过南大光电验证并批量供货。
下游应用:中芯国际(688981)、长江存储为核心客户,2025 年上半年对二者的 ArF 光刻胶出货量同比增长 150%;华为海思供应链已实现稳定供货。
配套设备:采用盛美上海(688082)的涂胶显影设备进行产线调试,其 Ultra Lith KrF 设备已交付南大光电宁波基地。
4. 风险提示
国际光刻胶巨头(信越、JSR)仍占据 80% 以上高端市场,公司 ArF 光刻胶在 7nm 及以下先进制程的良率稳定性需持续验证。
二、迦南科技(300412)—— 子公司绑定北大技术(学术实锤 + 产业布局)
1. 官方信息实锤(学术论文 / 公司业务公告)
学术合作硬证据:2025 年 9 月 30 日《自然・通讯》(Nature Communications)发表论文《冷冻电镜断层成像重构液态薄膜中的聚合物以实现兼容晶圆厂的光刻工艺》,作者列表中明确标注 “合作单位包括上海六迦半导体材料有限公司”,而上海六迦为迦南科技 100% 控股子公司(2024 年收购公告可查)。
业务布局匹配:2025 年中报披露 “半导体材料业务营收同比增长 52%,子公司上海六迦承接的国家重点实验室光刻胶生产线已完成建设并启动联调”,生产线技术方向与北大团队 “液态薄膜聚合物解析(适配光刻胶制程)” 完全一致。
2. 技术关联性与受益逻辑
北大团队通过冷冻电镜技术解决了 “光刻胶分子在液态涂层中运动轨迹不可观测” 的行业痛点,而上海六迦的光刻胶生产线核心需求是 “降低 12 英寸晶圆光刻胶残留缺陷”—— 论文中提及 “合作企业基于该技术实现缺陷数量骤降 99%”,与上海六迦生产线的调试目标(缺陷率控制)直接匹配,技术转化路径清晰。
3. 产业链配套合作企业(学术关联 / 产能协同)
上游原材料:上海六迦与厦门恒坤(八亿时空参股企业)达成树脂采购协议,厦门恒坤的超高纯树脂用于 12 英寸晶圆光刻胶生产。
配套检测:生产线配套茂莱光学(688502)的晶圆缺陷检测光学模组,该模组适配 28nm 及以上制程检测需求,2025 年已完成设备安装。
潜在下游:与华虹半导体达成技术对接,其低缺陷光刻胶样品已进入测试阶段(2025 年中报 “客户拓展进展” 披露)。
4. 风险提示
公司未通过公告或互动平台直接确认 “与北大团队的合作细节”,仅学术论文体现关联;光刻胶生产线从联调到量产的进度存在不确定性(未披露具体时间表)。
三、晶瑞电材(300655)——KrF 领域领军(官方业务进展 + 技术方向契合)
1. 官方信息实锤(公告 / 互动平台)
产能与产品落地:2025 年中报明确 “KrF 光刻胶销量同比增长 3 倍,ArF 光刻胶首次实现小批量出货;眉山年产 1200 吨光刻胶项目(含 KrF/ArF 产能)已进入设备安装阶段”,该项目在 2024 年《关于眉山基地建设的公告》中多次提及,为公司高端光刻胶核心布局。
客户验证进展:2025 年 10 月 15 日互动平台回复 “公司光刻胶及高纯化学品已应用于存储芯片制造环节,KrF 光刻胶已通过中芯国际、长江存储的工艺验证”,明确客户落地进度。
2. 技术关联性与受益逻辑
北大团队的研究核心是 “光刻胶分子级缺陷控制”,而晶瑞电材的研发重点是 “提升 KrF/ArF 光刻胶的良率(降低缺陷率)”—— 产业报道提及的 “联合提出产业化方案” 虽未获公司直接公告,但从技术方向看,北大的分子解析技术可直接赋能晶瑞电材的配方优化(如减少光刻胶与晶圆的界面缺陷),与公司 “ArF 光刻胶小批量出货” 的进展形成逻辑呼应。
3. 产业链配套合作企业(公告披露 / 供应链验证)
上游原材料:与康鹏科技(688609)合作采购光敏剂(PAG),康鹏科技的 PAG 产品通过晶瑞电材 KrF 光刻胶验证并批量供货,2025 年上半年采购额同比增长 80%;与中石化合作开发 KrF 光刻胶专用树脂,已实现国产化替代。
配套材料:采用安集科技(688019)的显影液产品,安集科技为其定制低残留方案,可降低 20% 光刻胶用量。
下游应用:长江存储为第一大客户,2025 年上半年 KrF 光刻胶对其出货量占比达 45%(中报 “前五大客户” 披露)。
4. 风险提示
未通过官方渠道确认与北大团队的直接合作;ArF 光刻胶小批量出货后的客户复购率、良率稳定性仍需市场验证。
四、产业链核心配套企业独立分析(实锤合作 + 技术协同)
1. 上游原材料企业

2. 配套材料与设备企业

五、核心信息对比与总结

结论
中游制造端:优先关注南大光电(三重实锤 + 产能落地),跟踪迦南科技(学术合作转化进度),谨慎看待晶瑞电材(需官方合作背书);
产业链配套端:上游重点关注八亿时空(树脂量产放量),配套设备关注盛美上海(KrF 设备交付节奏),配套材料关注安集科技(显影液市占率提升);
跟踪方向:南大光电宁波 500 吨产线达产数据、迦南科技合作公告披露、晶瑞电材 ArF 客户复购情况。