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想到做到得到
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$联瑞新材(SH688300)$ $佳先股份(BJ920489)$

在光刻胶赛道,半导体光刻胶无疑是这个赛道的皇冠,技术壁垒最高。而半导体光刻胶根据曝光波长的不同,半导体光刻胶可分为 G 线、I 线、KrF、ArF 和 EUV 五种类型。光刻胶曝光波长越短,则加工分辨率越高,能够形成更小尺寸和更精细的图案,目前最先进的光刻胶曝光波长已经达到了极紫外光波长范围为 EUV 光刻胶。

而在细分半导体光刻胶EUV又是皇冠上的皇冠,我国在此领域几乎没有突破。这个市场被美国陶氏杜邦、日本JSR、东京应化、富士电子、佳友化学这些公司垄断。因此近期这个板块因为会被卡脖子也被资本市场关注极大。

目前国内尚无上市公司实现EUV 成品光刻胶的销售,一些积极的方面是多家上市公司在 EUV 光刻胶的核心原材料(如单体、光致产酸剂等)环节实现了产品销售,为 EUV 光刻胶的国产化奠定基础

相关公司如下:

瑞联新材(688550):作为国内半导体光刻胶单体的领先企业,其 EUV 光刻胶单体的中试批次已通过客户验证,并达成百公斤级销售

佳先股份(430489):其联营企业安徽英特美实现了 EUV 光刻胶核心单体 PHOST(对乙酰氧基苯乙烯)的规模化生产。该产品纯度达 99.99%,满足 EUV 光刻胶生产需求

华懋科技(603306):通过参股徐州博康(持股 29%)涉足 EUV 光刻胶领域。徐州博康是 EUV 光刻胶单体的发明者,掌握全球 80% 光刻胶单体技术,其 EUV 光刻胶单体产品覆盖全球 90% 以上客户群,下游客户包括 Intel、JSR 等国际企业。

此外,久日新材正在开发 EUV 光刻胶所需的光致产酸剂,上海新阳晶瑞电材等也在推进 EUV 光刻胶的研发工作