证券之星消息,根据天眼查APP数据显示柯力传感(603662)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法”,专利申请号为CN202210837090.4,授权日为2025年8月26日。
专利摘要:本发明涉及柔性薄膜电阻应变计制备技术领域,公开了一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法,包括(1)以玻璃纤维网布增强的聚酰亚胺薄膜为基底,在基底表面涂覆光刻胶进行光刻,图形化应变计图形;(2)在基底的应变计图形上沉积NiCr合金薄膜作为敏感栅层;(3)在敏感栅上设置抗氧化膜层;(4)去除表面多余的光刻胶,退火处理,得到柔性薄膜电阻应变计。所得薄膜应变电阻计可以在200~400℃的高温环境下正常工作,具有较好的可靠性,而且内阻值可高达3000Ω,极大降低使用功耗,电阻应变计的电阻温度系数低,同时采用光刻和磁控溅射工艺,提高了应变计加工精度和加工质量,