晶合集成获得发明专利授权:“图像传感器及其形成方法”

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证券之星财经
 · 上海  

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“图像传感器及其形成方法”,专利申请号为CN202510840719.4,授权日为2025年8月26日。

专利摘要:本发明提供一种图像传感器及其形成方法,衬底的正面形成多个沟槽组,每个沟槽组包括两个子沟槽;去除两个子沟槽之间的至少部分间隔,以使两个子沟槽连通形成一个沟槽,构成光电感应预留区;在光电感应预留区内形成光电转换结构;执行第三刻蚀工艺,沿衬底的背面刻蚀部分衬底暴露出光电转换结构的底部和部分侧壁,光电转换结构的底部构成陷光结构,相邻光电转换结构侧壁之间的区域构成隔离区域,其中,第三刻蚀工艺为湿法刻蚀工艺。本发明意想不到的效果是,在同样像素面积的条件下,陷光结构增加了光电感应区面积,提升了图像传感器性能;湿法刻蚀工艺同时形成陷光结构和隔离区域,节省了工艺步骤并且避免了干法蚀刻工艺导致的晶格损伤

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