拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种承载盘及应用其的半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种承载盘及应用其的半导体设备”，专利申请号为CN202422771484.1，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种承载盘及应用其的半导体设备，承载盘包括承载主体、吸盘组件以及气体通道，吸盘组件镶嵌在承载主体内且两者之间具有间隙，间隙延伸至承载主体的外表面，气体通道位于承载主体内部，气体通道与间隙连通；气体通道内的气体介质经间隙喷出，能够使得承载主体上的晶圆非接触式吸附在承载主体上。本实用新型采用伯努力原理形成非接触式吸附，通过晶圆两侧气体流速不同产生的压差，晶圆朝向承载主体的一侧不会与承载主体接触，而是存在数微米的气膜间隙，因此在吸附的过程避免了晶圆与承载主体的直接接触，减少了晶圆污染发生的可能。

今年以来拓荆科技新获得专利授权49个，较去年同期增加了96%。结合公