英杰电气：射频电源已配套中微公司刻蚀机

证券之星消息，英杰电气(300820)01月22日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：有消息传言公司射频电源已实现5nm及以下先进制程量产，精度达纳米级（误差＜0.1nm），成功配套中微公司刻蚀机、北方华创PECVD设备，切入新凯来离子注入机供应链，实现对长江存储、中芯国际等头部晶圆厂批量供货，部分产品替代日本ULVAC等海外厂商，国内市占率超30%。请问是否属实英杰电气董秘：您好，就您的问题回答如下：一、公司射频电源产品现阶段已配套应用于中微公司刻蚀机、拓荆科技 PECVD 设备等核心半导体设备，其余您提及的相关企业，部分确为公司客户，但目前尚未实现批量供货。 二、公司射频电源产品具备国产替代属性，但现阶段仅实现部分型号的进口替代，尚未完成全系列产品的替代布局。 三、根据公司掌握的信息，目前行业内尚无射频电源领域准确的市占率统计数据，您提到的数据信息可能缺乏客观数据支撑。