微导纳米获得发明专利授权：“一种装置和加工方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种装置和加工方法”，专利申请号为CN202210551851.X，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本公开涉及一种装置和加工方法。在各实施例中，一种装置包括：第一喷淋板，其经配置以输入第一反应气体和第二反应气体；第一匀气板，其经配置以将所述第二反应气体分配至第二气体第一分配区以及与所述第二气体第一分配区连通的第二气体第二分配区；第二匀气板，其经配置以将所述第一反应气体分配至第一气体第一分配区以及与所述第一气体第一分配区连通的第一气体第二分配区；以及第二喷淋板，其经配置以输出所述第一反应气体和所述第二反应气体。

今年以来微导纳米新获得专利授权7个，较去年同期增加了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次；财产线索方面有商标信息120条，专利信息585条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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