$肯特催化(SH603120)$ 肯特催化在光刻胶显影液领域是国产替代的领军企业,其核心产品四甲基氢氧化铵(TMAH)纯度达SEMI G4级,已进入中芯国际、长江存储等头部晶圆厂供应链。
一、产品与技术亮点 :
TMAH显影液:作为半导体光刻胶显影液的核心原料,其产品满足国内光刻胶产业需求,并通过下游客户出口间接进入台积电、三星供应链。
1-金刚烷基三甲基氢氧化铵:可作为光刻胶显影剂的主要成分之一,替代传统强碱性物质,有效促进光刻胶中感光成分的显影反应,提高显影速度和质量,改善光刻胶的分辨率和对比度。
二、市场地位与护城河
市场领导者:在国内高端TMAH显影液市场中处于绝对领先的领导地位,是该领域实现进口替代和自主可控的关键企业。
技术护城河:从合成工艺到纯化的全链条Know-how,掌握从基础原料到合成高纯度TMAH溶液或固体的一整套成熟、高效、低成本的工业化技术。
应用场景 光刻环节:作为光刻胶显影剂的主要成分之一,替代传统强碱性物质,有效促进光刻胶中感光成分的显影反应,提高显影速度和质量,改善光刻胶的分辨率和对比度。
蚀刻环节:在光刻后的蚀刻工艺中,作为蚀刻剂的成分之一,能够在保证精确刻蚀图案的同时,减少对基材的损害,实现对光刻胶图案的高精度转移和蚀刻。
清洗环节:具有强碱性和良好的亲油性,能有效去除晶圆表面的油污、有机杂质和微细颗粒等污染物,确保晶圆表面的清洁度。