联合化学入股的卓光芮和罡景光学技术成分如何

1. 罡景光学的光学技术储备

全流程自主能力：掌握光学系统设计、选材、装调、测试全链条技术，具备高精度物镜和照明系统的量产能力，已实现光伏光刻机光学部件出货（分辨率5μm，支持8000片/小时产能）。

分层技术路线：

高端产品：应用于前道KrF/i-line光刻机，分辨率达110nm，预计2025年Q4交付；

中端产品：面向封装光刻机，支持＞120mm×120mm超大视场，适配先进封装需求，预计2026年Q1交付；

低端产品：聚焦光伏光刻机，已实现20套小批量出货。

2. 卓光芮的整机集成能力

千级步骤技术整合：需攻克光学投影系统（微缩精度）、对准系统（纳米级套刻精度）、晶圆台（高速运动稳定性）、光源（紫外波段稳定性）及控制系统五大核心模块。

之前投资公告里也表明了这一点，在技术方面，标的公司（指卓光芮）具备16个核心子系统的自研能力，尤其对于光学系统，标的公司具备从系统设计、光学选材、光学装调、光学测