$汇绿生态(SZ001267)$ 硅光工艺设备厂商中杰普特自主研发的硅光晶圆测试系统设备可全自动测试硅光晶圆内设计的有源/无源硅基光电子微器件、汇绿生态控股公司钧恒创新硅光光学耦合工艺通过自研硅光耦合设备，创新硅光光学耦合工艺，实现多通道全自动化耦合、硅光耦合及封装设备相关厂商罗博特科子公司ficonTEC生产的设备主要用于硅光芯片、高速光模块和耦合封装等领域。