说说大基金三期之光刻和芯片定制产业链

阿石创：2022年11月阿石创与清华大学化学系团队达成合作，共同组建“清华（化学系）–阿石创先进材料联合研究中心”，聚焦开发新型半导体光刻胶材料及上游核心材料，针对光刻胶树脂、光酸产生剂等核心成分与关键制备技术展开深入研究.

翱捷科技：公司的芯片定制业务在手订单充足，但因与客户均签署了保密协议，所以不便于披露具体信息。目前，各项目进展顺利，预计明年（2026年）芯片定制业务收入较2024年将会有倍数级增长。

上海新阳：公司半导体业务表现亮眼：实现营业收入 7.09 亿元，同比大幅增长 53.12%；客户覆盖范围持续扩大，已为 120 余家半导体封装企业、100 余家芯片制造企业提供产品与服务，集成电路制造用关键工艺材料销量实现快速增长，进一步巩固了在国内半导体材料供应链中的重要地位.

雅克科技：公司是国内显示光刻胶领域的领先供应商，产品包括红绿蓝彩色光刻胶、TFT-PR光刻胶和OC/PS封装透明光刻胶等。其光刻胶业务上半年营收21.13亿元，占总营收近五成，同比增速18.98%，客户涵盖京东方、LG显示等主流面板厂商.

旭光电子：生产的大功率电子管产品已应用于国内头部国产光刻机企业，并实现批量供货。其大功率射频电子管作为放大器，能够将电源的功率提升至指定要求，为光刻机提供合格的射频电源，其中兆瓦级四极管的研发填补了国内空白.

长光华芯：公司专利内容公开提供了半导体刻蚀方法，包括：提供衬底结构，衬底结构的材料为Ⅲ‑Ⅴ族化合物半导体材料；在衬底结构上旋涂光刻胶形成光刻胶层；利用光刻工艺制备光刻图案；对具有光刻图案的衬底结构进行干法浅刻蚀；对干法浅刻蚀后的衬底结构进行氧气等离子处理；重复干法浅刻蚀和氧气等离子处理直至在衬底结构中形成目标深度的垂直凹槽。

东方嘉盛：公司未来能为半导体设备寄售维修提供一体化供应链服务，争取为华南地区打造半导体设备服务生态圈。近年来公司现已获得TAPA（运输资产保护协会）FSR 认证等重要资质，并积极扩大半导体客户基础，近期已与国内外半导体公司新客户达成业务合作，未来将进一步提升公司在半导体供应链服务领域的头部客户开拓能力，加速公司在半导体等高科技产业领域的业务布局进度以及业务成长速度

电科数字：在光刻机领域的主要布局集中在子公司柏飞电子的控制器技术突破和半导体检测设备的技术复用上。柏飞电子作为国内唯一具备EUV光刻机控制器量产能力的企业，其自主研发的加固式一体机采用高于车规级的设计标准，可在-40℃至85℃环境下稳定运行，支持纳米级精度控制。该技术已通过中芯国际产线验证，预计2025年相关订单将突破5亿元。

晶方科技：在光刻相关领域的技术布局主要体现在其子公司ANTERYON提供的光刻机核心零部件服务，以及光学检测技术的应用。晶方科技通过荷兰子公司ANTERYON为国际领先光刻机厂商提供核心部件，包括混合镜头与晶圆级光学技术应用，产品用于光刻机的光学系统。该技术可实现芯片小型化与高性能

同飞股份：是光刻机温控设备的核心供应商，其液体恒温技术保障了曝光精度。 该公司的浸没式光刻机温控系统精度达到了±0.01℃，为光刻机的热稳定性提供了保障。 产品配套上海微电子和中芯国际产线。

冠石科技：子公司宁波冠石半导体在光掩膜版领域实现了技术突破，其产品可适配“羲之”8nm线宽工艺，并为量子芯片的高精度需求奠定基础。

华懋科技：公司自主研发的ArF光刻胶成功获得客户认证，成为国内首款通过验证的ArF光刻胶。2024年第一季度，华懋科技实现营业收入69亿元，同比增长81%，净利润也实现显著增长。

张江高科：通过子公司持有上海微电子（SMEE）10.78%股权，是国产光刻机整机研发的核心资本纽带。技术突破：SMEE为国内唯一推进28nm及以下光刻机（含EUV预研）的整机厂商，2024年其28nm浸没式光刻机完成中芯国际验证，2025年计划交付超10台。EUV技术储备：参与国家“02专项”，联合长春光机所推进13.5nm光源与物镜系统研发.

凯美特气：其子公司凯美特电子特种气体有限公司生产的光刻气产品已获得ASML子公司Cymer的合格供应商认证，并通过多个国际头部企业的认证。其光刻气产品品质达到国际标准，已进入半导体制造供应链，并与芯片龙头企业建立合作。2023年半年报显示，该公司通过技术突破打破了国外企业在电子特种气体领域的垄断地位，未来将实现该领域“中国造”

新莱应材：在光刻机领域通过真空系统和高纯气体传输技术占据关键供应链地位，其产品已进入国内外头部设备商供应体系，并在细分市场实现国产替代突破.核心产品：AdvanTorr真空系统与NanoPure气体传输系统，适配光刻机超高真空环境与特殊气体控制需求，应用于ASML、上海微电子等设备制造商。

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